Ten wysokiej czystości, stopiony pierścień z kwarcu, jest dużym pierścieniowym elementem wytwarzanym do precyzyjnych urządzeń wymagających stabilności termicznej, izolacji elektrycznej, odporności chemicznej,i niskie zanieczyszczenie materiałuProdukt charakteryzuje się szerokim okrągłym ciałem, dużym otwartym środkiem, podwyższoną obrębem wewnętrznym, stopniowym profilem zewnętrznym i wieloma funkcjami lokalizacyjnymi rozmieszczonymi wokół obwodu.

Zamiast być prostym płaskim pierścieniem kwarcowym, komponent zawiera kilka poziomów obróbki, które mogą zapewnić otwartość instalacji, mechaniczne ustawienie, oddzielenie części,lub sterowane wsparcie w zestawie urządzeńSzeroka pierścieniowa powierzchnia zapewnia stabilny obszar kontaktowy, podczas gdy podniesiona część wewnętrzna może pomóc w skupieniu innej części lub utrzymaniu określonej przestrzeni wokół wewnętrznego obszaru procesu.

Zewnętrzna krawędź obejmuje kilka obróbkowych przerw lub szczelin lokalizujących.lub zapewniają miejsce dla sąsiednich komponentówIch ilość, kształt, położenie, głębokość i szerokość mogą być dostosowane zgodnie z rysunkiem technicznym klienta.

Ten pierścień kwarcowy nadaje się do specjalnego sprzętu półprzewodnikowego, systemów próżniowych, instrumentów o wysokiej temperaturze, komór laboratoryjnych, zespołów optycznych,i innych systemów przemysłowych, w których konwencjonalne pierścienie metalowe lub polimerowe mogą powodować zanieczyszczenia, przewodności elektrycznej lub problemy z rozszerzaniem cieplnym.

Specyfikacje techniczne

Duże pierścieniowe konstrukcje kwarcowe

Produkt ma duże okrągłe otworze przez środek, tworząc szerokie ciało w kształcie pierścienia.grzejnik, ścieżki optycznej lub innego komponentu wyposażenia wewnętrznego bez blokowania centralnego obszaru pracy.

Jego pierścieniowy kształt może być dostosowany do kilku funkcji, w tym:

• Podtrzymanie mechaniczne;
• utrzymanie składników;
• ustawienie wyposażenia;
• oddzielenie termiczne;
• izolacja elektryczna;
• ochrona obszaru procesu;
• odległość pomiędzy komorami;
• osłony obwodowe;
• Montowanie i pozycjonowanie.

Dokładna rola elementu zależy od jego pozycji montażowej i wymiarów otaczającego urządzenia.pierścień podtrzymujący z kwarcu, pierścień komory kwarcowej, pierścień rozstawczy kwarcowy lub pierścień flanszowy kwarcowy.

Profil wewnętrzny i zewnętrzny

Główną cechą tego elementu jest jego poprzeczny przekrój stopniowy.

Ta konstrukcja stopniowa może zapewniać:

• sterowana powierzchnia mocowania;
• interfejs centryzacyjny;
• zdefiniowana luka składowa;
• dodatkowa grubość konstrukcji;
• Światło dla uszczelnień lub otaczających ich części;
• Zwiększona kompatybilność z istniejącym profilem komory;
• Oddzielenie powierzchni funkcjonalnych.

Wewnętrzna podwyższona obrączka może być wyposażona w ziarniste, polerowane lub wypalone powierzchnie w zależności od tego, czy jest używana do pozycjonowania, kontaktu, dostępu wizualnego lub kontroli cząstek.

Przejście między różnymi poziomami może być wykonane z prostymi ramionami, promieniowanymi narożnikami, kształtami kształtowymi lub dostosowanymi do potrzeb.Ogólnie unika się ostrych wewnętrznych narożników, jeśli to możliwe, ponieważ starannie zaprojektowane przejścia mogą zmniejszyć lokalne stężenie naprężeń w kruchych komponentach kwarcowych.

Precyzyjne cechy lokalizacji

Wzdłuż obwodu zewnętrznego widać kilka równomiernie rozmieszczonych elementów, które mogą być płytkimi rowkami, sekcjami reliefowymi, wcięciami wyrównującymi lub szczelinami lokalizującymi.

Mogą być używane do:

• Określ kierunek instalacji;
• punkty mocowania sprzętu zapałkowego;
• zapobieganie niechcianej rotacji;
• Zapewnić odległość wokół zacisków;
• Wyrównanie pierścienia kwarcowego z innym elementem;
• Stwórz punkty odniesienia do inspekcji montażu.

Funkcje lokalizacji są w pełni dostosowywalne. Klienci mogą określić liczbę gniazd, rozstaw kątowy, wymiary, promień kąta i związek z innymi krytycznymi powierzchniami.

W przypadku części zamiennych ważne jest, aby sprawdzić kątowe położenie każdego elementu lokalizującego.nieprawidłowo umieszczone gniazda mogą uniemożliwić zamontowanie elementu w oryginalnym sprzęcie.

Opcje materiałów z kwarcu stopionego

Komponent może być wytwarzany z różnych klas stopionego kwarcu lub stopionej krzemionki.

Dostępne opcje obejmują:

• Wyroby z tworzyw sztucznych
• Wykorzystuje się w tym celu następujące urządzenia:
• Kwarc półprzewodnikowy;
• Wymagania dotyczące:
• Wykorzystuje się do produkcji materiałów objętych pozycją 9A001.
• Wykorzystuje się do produkcji materiałów objętych pozycją 9A001.
• Wysokohydroksylowy roztopiony krzemionka.

Do urządzeń, w których należy kontrolować zanieczyszczenie metali, wytwarzanie cząstek i kompatybilność chemiczną, zazwyczaj wybierany jest kwarc o wysokiej czystości.

W przypadku konieczności zwiększenia przenoszenia optycznego lub ściślejszej kontroli konsystencji materiału należy rozważyć stosowanie syntetycznego krzemionki stopowej.,wymagania dotyczące temperatury, atmosfery, czystości i sprzętu.

Wydajność termiczna i chemiczna

Słonący kwarc ma niski współczynnik rozszerzenia cieplnego i może utrzymywać stabilność wymiarową w wielu warunkach podwyższonej temperatury.systemy grzewcze laboratorium, narzędzia półprzewodnikowe i komory procesowe, które doświadczają wielokrotnego ogrzewania i chłodzenia.

Jego działanie cieplne nadal zależy od kilku czynników praktycznych:

• maksymalna temperatura pracy;
• prędkość ogrzewania i chłodzenia;
• jednolitość temperatury;
• ograniczenia mechaniczne;
• wymiary pierścienia;
• Lokalne ciśnienie stykowe;
• stan powierzchni;
• Istniejące napięcie wewnętrzne.

Nierównomierne ogrzewanie lub sztywne zaciskanie mogą powodować napięcie cieplne.

Kwarc jest również odporny na wiele substancji chemicznych i kwasów, ale nie jest uniwersalnie odporny na każdą substancję chemiczną.Kwas fluorowodorowy i niektóre gorące, alkaliczne substancje mogą atakować powierzchnie kwarcu, więc przed użyciem należy sprawdzić zgodność chemiczną.

Izolacja elektryczna

W związku z tym pierścień może być stosowany w urządzeniach, w których wymagana jest izolacja elektryczna między przewodzącymi elementami.

Potencjalne zastosowania obejmują zespoły w pobliżu:

• elektrody;
• źródła plazmy;
• elementy grzewcze;
• Wykorzystuje się urządzenia do pomiaru energii elektrycznej.
• czujniki;
• Metalowe elementy komory;
• Obszary procesów wysokonapięciowych.

W zależności od ostatecznej konfiguracji szerokie ciało pierścieniowe może zapewniać zarówno separację mechaniczną, jak i izolację elektryczną.

Wybór wykończenia powierzchni

Pokazany produkt ma półprzezroczyste lub zmrożone pierścieniowe powierzchnie połączone z czystszymi wypolerowanymi krawędziami.

Dostępne opcje powierzchni obejmują:

Końcowy punkt

Powierzchnia podłoża zapewnia jednolity wygląd matowy i jest powszechnie stosowana do obszarów wsparcia nieoptycznego.

Wyrobek z wykończenia

W porównaniu z zwykłym szlifowaniem, szlifowanie może poprawić płaskość, równoległość i spójność kontaktu.

Przejrzystość polerowania

Polerowanie może zwiększyć przejrzystość i stworzyć gładszą powierzchnię.

Polerowanie ogniem

Polerowanie ogniem może wygładzać wybrane krawędzie i zmniejszać ostre ślady obróbki.

Zmrożone

W celu zmniejszenia odblasku lub zapewnienia jednolitej powierzchni nieoptycznej można zastosować kontrolowane wykończenie z gięciem.

Na powierzchni górnej, dolnej, ścianie wewnętrznej, zewnętrznej, schodach i szczelinach lokalizacyjnych można zastosować różne wykończenia.

Parametry produkcji na zamówienie

Ten pierścień z kwarcu stopionego jest wykonany według wymiarów specyficznych dla klienta.

• ogólna średnica zewnętrzna;
• średnica środkowego otworu;
• grubość całkowita;
• szerokość ciała pierścienia;
• wysokość obręczy wewnętrznej;
• szerokość obrębu wewnętrznego;
• wymiary zewnętrznych stopni;
• liczba slotów lokalizacyjnych;
• szerokość i głębokość szczeliny;
• pozycja kątowa szczeliny;
• promienie wewnętrznego i zewnętrznego krawędzi;
• płaskość powierzchni;
• równoległość powierzchni;
• koncentryczność wewnętrzna i zewnętrzna;
• okrągłość;
• szorstkość powierzchni;
• Wykorzystanie:
• Stopień materiału;
• Procedura czyszczenia;
• Sposób pakowania.

Pełny rysunek powinien jasno określać powierzchnie punktu odniesienia i wymiary krytyczne.

Proces produkcji

W zależności od rozmiarów produktu i materiału pustego, produkcja może obejmować:

• Części i akcesoria do urządzeń objętych pozycją 9A004
• Części i akcesoria do urządzeń objętych pozycją 9703 lub 9704
• obróbki do otwierania centralnego;
• Szlifowanie średnicy wewnętrznej;
• Szlifowanie średnicy zewnętrznej;
• Szlifowanie powierzchni;
• obróbki stopniowej;
• Obróbka szczelinowa i szczepowa;
• Wykorzystanie urządzeń do:
• Precyzyjne obwijanie;
• Lokalne polerowanie;
• wykończenie ogniowe;
• czyszczenie;
• inspekcja wymiarowa;
• Opakowanie ochronne.

Duże komponenty kwarcowe wymagają ostrożnego obróbki podczas całej produkcji, ponieważ nadmierna siła lokalna może spowodować uszkodzenie krawędzi lub ukryte pęknięcia.

W przypadku szczególnie wymagających zastosowań można najpierw wyprodukować prototyp w celu potwierdzenia dopasowania wymiarowego i kompatybilności instalacji.

Potencjalne zastosowania

Można rozważyć pierścień oporowy z kwarcu stopionego w stopniach do:

• Komory procesowe półprzewodnikowe;
• urządzenia do przetwarzania plazmy;
• Systemy etsujące;
• sprzęt do odkładania;
• zestawy pieców dyfuzyjnych;
• wyposażenie do utleniania;
• Narzędzia do obróbki płytek;
• systemy laboratoryjne o wysokiej temperaturze;
• Komory próżniowe;
• Zestawy reaktorów kwarcowych;
• konstrukcje termoizolacyjne;
• wyposażenie optyczne;
• urządzenia do obróbki gazu;
• urządzenia badawcze na zamówienie;
• Wysokiej czystości maszyny przemysłowe.

Może pełnić funkcję wsparcia, przytrzymującego, wyrównującego, oddzielającego, izolacyjnego lub ochronnego.

Ponieważ dokładne zastosowanie nie może być potwierdzone jedynie na podstawie wyglądu, warunki eksploatacji i rysunki montażu powinny zostać zweryfikowane przed końcową produkcją.

Główne zalety produktu

Dostosowana kompatybilność urządzeń

Całkowita geometria pierścienia może być dopasowana do istniejących wymiarów urządzeń i interfejsów montażu.

Niska ekspansja termiczna

Spuściony kwarc zapewnia dobrą stabilność wymiarową podczas wielu procesów ogrzewania i chłodzenia.

Wysoka czystość materiału

Wysokiej czystości gatunki pomagają zmniejszyć ryzyko zanieczyszczenia w wrażliwych środowiskach procesowych.

Zintegrowana konstrukcja pierścieniowa

Składnik jest wytwarzany jako pojedynczy pierścień, unikając połączeń między wieloma złożonymi elementami.

Precyzyjne cechy pozycjonowania

Zewnętrzne szczeliny i powierzchnie stopniowe mogą pomóc w kontrolowaniu orientacji i pozycji instalacji.

Wielokrotne opcje powierzchni

Powierzchnie zmielone, wypolerowane, polerowane, zmrożone i wypalone można łączyć w jeden element.

Przystosowane do dostosowywania małych partii

Wymagania dotyczące prototypu, części zamiennej i produkcji seryjnej można ocenić zgodnie z rysunkiem.

Kontrola jakości

Badanie może być przeprowadzone na podstawie zatwierdzonego rysunku.

• średnica zewnętrzna;
• średnica wewnętrzna;
• grubość całkowita;
• wysokość schodów;
• szerokość stopnia;
• ilość czasu przedziału;
• wymiary otworu;
• pozycja kątowa szczeliny;
• płaskość;
• równoległość;
• okrągłość;
• koncentryczność;
• szorstkość powierzchni;
• zadrapania na powierzchni;
• Chipy krawędzi;
• Widoczne bąbelki;
• Włączenia;
• czystość;
• Warunki opakowania.

Metody pomiaru powinny być uzgodnione z wyprzedzeniem, gdy wymagane są bardzo ciasne tolerancje, zwłaszcza w przypadku dużych pierścieni, w których warunki temperatury i wsparcia mogą wpływać na wyniki pomiaru.

Opcje czyszczenia i pakowania

Dostępne usługi czyszczenia i pakowania mogą obejmować:

• Standardowe czyszczenie;
• czyszczenie ultradźwiękowe;
• Wydalanie wodą dejonizowaną;
• Oczyszczanie chemiczne o wysokiej czystości;
• obsługa zgodna z procedurą czystych pomieszczeń;
• indywidualne opakowanie ochronne;
• Dwuwarstwowe torby zamknięte;
• Podstawy pozycjonowania z pianki;
• Sztywne skrzynki eksportowe.

Produkt powinien być podtrzymywany na szerokim obszarze podczas transportu, unikając bezpośredniego uderzenia na zewnętrzną krawędź lub wewnętrzne otworze.

Wymogi dotyczące kwotowania

Proszę podać następujące informacje w celu uzyskania oferty:

1. średnica zewnętrzna;
2. średnica wewnętrzna otworu;
3. grubość całkowita;
4. Wymagania w zakresie "przewodnictwa" obejmują:
5. ilość i położenie slotów lokalizacyjnych;
6. wymóg płaskości;
7. wymóg równoległości;
8. wymóg koncentryczności;
9. wymagania dotyczące wykończenia powierzchni;
10. Materiał kwarcowy;
11. temperatury roboczej;
12. ekspozycja na działanie chemiczne lub gazu procesowego;
13. zastosowanie sprzętu;
14. wymagana ilość;
15. Rysunek lub oryginalna próbka.

W przypadku części zamiennych urządzeń dostarczenie zarówno oryginalnego rysunku, jak i kilku wyraźnych zdjęć może zmniejszyć ryzyko nieporozumień wymiarowych.

Częste pytania

Jaka jest różnica między tym pierścieniem kwarcowym a standardową brzytwą kwarcową?

Standardowy brzeg kwarcowy jest często kojarzony z połączeniami rur, interfejsami uszczelniającymi lub strukturami śrub-dziur.,Można go nadal umieścić w kategorii płaszczyzny kwarcowej ze względu na jego dużą geometrii pierścieniowej.

Czy wewnętrzną podwyższoną krawędzię można usunąć lub wymienić?

Jego średnica, wysokość, szerokość, promień kąta i wykończenie powierzchni mogą być zmieniane zgodnie z rysunkiem sprzętu.

Czy można wykonywać dodatkowe otwory w pierścieniu?

Można ocenić otwory, szczeliny, obszary reliefowe i funkcje pozycjonowania.