Specjalna płytka ssania kwartowa z fuzji próżniowej do obróbki płyt półprzewodnikowych

Niestandardowa próżniowa płyta ssąca z topionego kwarcu do przenoszenia płytek półprzewodnikowych

Niestandardowa próżniowa płyta ssąca ze stopionego kwarcu — znana również jako kwarcowy uchwyt próżniowy, kwarcowy dysk ssący lub kwarcowy uchwyt na płytki — służy do podpierania, pozycjonowania i utrzymywania płytek lub precyzyjnych substratów poprzez kontrolowaną adsorpcję próżniową.

Wykonany z topionego kwarcu o wysokiej czystości, komponent łączy w sobie niską rozszerzalność cieplną, doskonałą odporność chemiczną, stabilność w wysokiej temperaturze i niski potencjał zanieczyszczeń. Nadaje się do stosowania w środowiskach półprzewodnikowych, fotowoltaicznych, optycznych, laboratoryjnych i innych środowiskach przetwarzania o wysokiej czystości.

Płyta może być produkowana z niestandardowymi kanałami próżniowymi, otworami centralnymi, rurkami kwarcowymi, portami, stopniowanymi interfejsami i spawanymi konstrukcjami połączeń. Wymiary i stan powierzchni są produkowane zgodnie z projektem sprzętu klienta i wymaganiami operacyjnymi.

Kluczowe funkcje

Topiony kwarc o wysokiej czystości

Wykonane z wysokiej jakości topionej krzemionki o niskim poziomie zanieczyszczeń metalicznych, co pomaga zminimalizować zanieczyszczenie podczas przenoszenia płytek i przetwarzania podłoża.

Niska rozszerzalność cieplna

Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej pomaga płycie zachować stabilność wymiarową pod wpływem zmian temperatury.

Odporność chemiczna

Topiony kwarc zapewnia doskonałą odporność na wiele kwasów i chemikaliów procesowych stosowanych w środowiskach półprzewodnikowych i laboratoryjnych. Zgodność z kwasem fluorowodorowym, gorącymi roztworami alkalicznymi i określonymi mediami procesowymi należy oceniać osobno.

Dostosowana struktura próżniowa

Porty próżniowe, otwory centralne, przyłącza gazowe, porty przesyłu cieczy, rowki i spawane rury kwarcowe można zaprojektować zgodnie z układem sprzętu.

Precyzyjna obróbka powierzchni

Dostępne są opcje szlifowania, polerowania mechanicznego, polerowania ogniowego, docierania i czyszczenia, aby spełnić różne wymagania dotyczące płaskości, uszczelnienia, czystości i stanu powierzchni.

Produkcja oparta na rysunkach

Każda kwarcowa płyta ssąca może być wyprodukowana na podstawie rysunku technicznego, próbki fizycznej, wymiarów sprzętu lub specyfikacji zastosowania.

Specyfikacje produktu

Maksymalne wymiary, osiągalne tolerancje, warunki termiczne, poziom próżni i ograniczenia ciśnienia należy ocenić zgodnie z ostatecznym projektem i środowiskiem operacyjnym.

Typowe zastosowania

• Sprzęt do obsługi płytek półprzewodnikowych
• Adsorpcja i pozycjonowanie próżniowe płytek
• Precyzyjne systemy wyrównywania podłoża
• Kwarcowe komory procesowe i układy reakcyjne
• Stoły mokre i urządzenia do przetwarzania chemicznego
• Obróbka ogniw słonecznych i płytek fotowoltaicznych
• Obsługa szkła i podłoża optycznego
• Laboratoryjne systemy próżniowe
• Sprzęt chemiczny o wysokiej czystości
• Niestandardowe półprzewodnikowe zespoły kwarcowe

Niestandardowe opcje projektu

Kwarcową płytę próżniową można dostosować za pomocą:

• Centralne otwory przelotowe lub otwory zagłębione
• Wiele portów zasysania próżniowego
• Rowki i kanały rozprowadzające podciśnienie
• Spawane rurki i złącza kwarcowe
• Porty proste, kątowe lub schodkowe
• Połączenia kołnierzowe kwarcowe
• Niestandardowe wzory otworów
• Miejscowe obszary polerowane lub matowe
• Fazowane lub zaokrąglone krawędzie
• Pozycjonowanie otworów lub elementów wyrównania
• Powierzchnie przezroczyste, półprzezroczyste lub matowe

Geometrię kanału próżniowego i rozmieszczenie otworów ssących należy zaprojektować zgodnie z rozmiarem płytki, grubością podłoża, wymaganą siłą trzymania i dopuszczalną powierzchnią styku.

Możliwości produkcyjne

Świadczymy zintegrowane usługi wytwarzania kwarcu, w tym:

• Produkcja płyt z topionego kwarcu o dużej średnicy
• Precyzyjna obróbka CNC
• Wiercenie otworów i cięcie profili
• Obróbka próżniowa rowków i kanałów
• Spawanie rur kwarcowych i portów
• Wykonanie kołnierza kwarcowego
• Szlifowanie powierzchni, docieranie i polerowanie
• Fazowanie i zaokrąglanie krawędzi
• Wyżarzanie termiczne
• Czyszczenie ultradźwiękowe i o wysokiej czystości
• Kontrola wymiarowa i wizualna

Złożone układy otworów, porty spawane i niestandardowe konstrukcje połączeń mogą być produkowane zgodnie ze szczegółowymi rysunkami technicznymi.

Zalety płyt próżniowych z topionego kwarcu

W porównaniu z konwencjonalnymi elementami metalowymi, plastikowymi lub standardowym szkłem, topiony kwarc oferuje kilka zalet w zakresie przetwarzania o wysokiej czystości:

• Niskie ryzyko zanieczyszczenia metalami
• Doskonała stabilność termiczna
• Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej
• Dobra odporność na wiele chemikaliów procesowych
• Nadaje się do zastosowań w pomieszczeniach czystych i wymagających wysokiej czystości
• Przezroczysta lub półprzezroczysta konstrukcja do obserwacji procesu
• Wysoka stabilność wymiarowa w kontrolowanych warunkach pracy
• Konfigurowalne porty, otwory, rowki i struktury połączeń

Przydatność topionego kwarcu należy potwierdzić na podstawie wymaganego obciążenia mechanicznego, poziomu próżni, warunków cykli termicznych i środowiska chemicznego.

Informacje wymagane do wyceny

Prosimy o podanie następujących informacji w celu oceny technicznej i wyceny:

1. Średnica całkowita lub wymiary zewnętrzne
2. Grubość płyty
3. Wymiary otworu centralnego
4. Liczba, średnica i położenie portów próżniowych
5. Układ rowków próżniowych lub kanałów
6. Wymiary połączenia portu, rury lub kołnierza
7. Wymagania dotyczące wykończenia powierzchni
8. Tolerancje płaskości i wymiarów
9. Temperatura pracy i warunki cyklu termicznego
10. Poziom podciśnienia lub ciśnienie robocze
11. Chemikalia procesowe lub gazy mające kontakt z komponentem
12. Wymagana ilość
13. Rysunek techniczny, próbka fizyczna lub fotografia sprzętu

Rysunek wymiarowy jest zalecany w przypadku komponentów wymagających precyzyjnego pozycjonowania portu, geometrii kanału podciśnieniowego lub wąskich tolerancji montażowych.

Kontrola jakości

W zależności od rysunku i zastosowania każdą kwarcową płytę ssącą można sprawdzić pod kątem:

• Całkowita średnica i grubość
• Wymiary otworu i portu
• Dokładność pozycji portu
• Płaskość i równoległość
• Stan powierzchni
• Geometria rowka próżniowego
• Integralność spoiny
• Jakość krawędzi
• Odpryski, pęknięcia, zarysowania i inne wady wizualne
• Czystość
• Ochrona opakowań

Każdy element jest indywidualnie chroniony pianką, folią lub niestandardowym opakowaniem, aby zmniejszyć ryzyko zarysowania, uderzenia i pęknięcia podczas transportu.

Często zadawane pytania

1. Czy można dostosować średnicę płyty i położenie portu próżniowego?

Tak. Średnicę, grubość, wymiary otworów, ilość portów, rozmiar portów, układ rowków i położenie portów można wyprodukować zgodnie z rysunkiem.

2. Czy możesz wyprodukować kwarcową płytkę ssącą z próbki fizycznej?

Tak. Możemy ocenić i odtworzyć komponent na podstawie próbki fizycznej. Jednakże, gdy wymagane są dokładne tolerancje lub położenie portów, zaleca się zwymiarowany rysunek techniczny.

3. Czy w płycie kwarcowej można wykonać rowki lub kanały podciśnieniowe?

Tak. Niestandardowe rowki, kanały, wgłębienia i wzory otworów ssących można obrabiać zgodnie z wymaganym rozkładem podciśnienia i konstrukcją styku z podłożem.

4. Jakie wykończenia powierzchni są dostępne?

Dostępne wykończenia obejmują powierzchnie szlifowane, matowe, docierane, polerowane mechanicznie i polerowane ogniowo. Odpowiednie wykończenie zależy od wymaganej płaskości, właściwości uszczelniających, stanu optycznego i czystości.

5. Czy topiony kwarc nadaje się do sprzętu półprzewodnikowego?

Tak. Topiony kwarc jest szeroko stosowany w sprzęcie półprzewodnikowym ze względu na jego wysoką czystość, stabilność termiczną, trwałość chemiczną i niski potencjał zanieczyszczeń metalicznych.

6. Czy do płyty można przyspawać rurki kwarcowe lub króćce przyłączeniowe?

Tak. Rury kwarcowe, porty próżniowe, złącza i konstrukcje kołnierzowe można przyspawać do płyty zgodnie z wymaganym projektem połączenia gazu, próżni lub cieczy.

7. Czy możecie zagwarantować określoną tolerancję płaskości?

Płaskość zależy od średnicy i grubości płyty, układu otworów, konstrukcji spawanych i wykończenia powierzchni. Do oceny technicznej proszę udostępnić rysunek i wymaganą tolerancję.

8. Czy płytkę można używać pod nadciśnieniem?

Produkt przeznaczony jest przede wszystkim do adsorpcji próżniowej i pozycjonowania. Zastosowania z nadciśnieniem wymagają osobnej oceny geometrii, grubości ścianki, połączeń spawanych, temperatury i warunków bezpieczeństwa.