Precyzyjna wielodrutowa piła do cięcia płytek półprzewodnikowych to przemysłowy system cięcia przeznaczony do zastosowań wymagających kontrolowanego ruchu drutu, stabilnego naprężenia, precyzyjnego posuwu, cięcia cienkich sekcji i spójnej sztywności maszyny.

Urządzenie integruje podawanie i zwijanie drutu, przesuwanie drutu, kontrolę naprężenia, kółka prowadzące, główny napęd rolkowy, posuw elementu obrabianego, obieg emulsji, wymianę ciepła i sterowanie elektryczne na jednej platformie maszynowej. Dostarczona dokumentacja urządzenia identyfikuje jego zamierzone zastosowanie przemysłowe jako cięcie płytek półprzewodnikowych.

Z maksymalną określoną prędkością drutu 2200 m/min, obsługiwanym zakresem średnic drutu od 0,014 do 0,10 mm, regulowanym naprężeniem od 0 do 15 N i zmiennym posuwem tnącym od 0,01 do 5 mm/min, system zapewnia elastyczną platformę do procesów cięcia płytek cienkim drutem.

Maszyna ta może być rozważana do linii produkcyjnych półprzewodników, produkcji pilotażowej, zakładów przetwarzania materiałów i środowisk badawczych, gdzie ważna jest dokładność cięcia, stabilność drutu i powtarzalność sprzętu.

Główne zalety

Szybkie działanie drutu

Maszyna obsługuje maksymalną prędkość drutu:

2200 m/min

Wysoka prędkość drutu jest szczególnie ważna przy stosowaniu cieńszego drutu, ponieważ siła cięcia i stabilność procesu muszą być nadal utrzymane wraz ze zmniejszaniem się średnicy drutu.

Dostępny zakres średnic drutu to:

0,014 mm do 0,10 mm

Pozwala to użytkownikom na wybór specyfikacji drutu zgodnie z docelowym procesem cięcia.

Regulowane naprężenie drutu

Naprężenie drutu można kontrolować w zakresie:

0–15 N

Ramię napinające służy do utrzymania drutu stalowego pod wybranym naprężeniem podczas pracy. W zależności od konfiguracji maszyny, system kontroli naprężenia jest napędzany silnikiem i może być regulowany zgodnie z wymaganiami procesu.

Stabilne naprężenie jest jednym z kluczowych warunków mechanicznych do utrzymania przewidywalnego ruchu drutu podczas cięcia płytek.

Precyzyjna kontrola posuwu

Maszyna wykorzystuje sterowany zespół posuwu z maksymalnym skokiem około:

220 mm

Prędkość posuwu tnącego:

0,01–5 mm/min

Prędkość posuwu szybkiego:

200 mm/min

Element obrabiany jest mocowany do zespołu posuwu i przemieszczany przez obszar cięcia zgodnie z wybranymi parametrami procesu.

Zdolność przetwarzania

Standardowa obudowa przetwarzania określona dla urządzenia to:

System obsługuje również kombinowane ładowanie elementu obrabianego zgodnie z oryginalną konfiguracją techniczną.

Specyfikacje techniczne

Parametry te pochodzą z dostarczonej konfiguracji urządzenia.

Zintegrowany system zarządzania drutem

Maszyna zawiera kilka skoordynowanych podsystemów odpowiedzialnych za sterowanie ruchem drutu.

Zespół nawijania drutu

Zespół nawijania zawiera szpulę z nowym drutem i szpulę odbiorczą. Jest odpowiedzialny za dostarczanie i przechowywanie drutu stalowego podczas pracy maszyny.

Zespół przesuwania drutu

Mechanizm przesuwania pomaga w płynnym odwijaniu i równomiernym nawijaniu drutu.

Ramię napinające

Zespół napinający utrzymuje drut pod kontrolowanym naprężeniem podczas cięcia.

Kółka prowadzące

Kółka prowadzące służą do kierowania drutu i wspierania stabilnego ruchu drutu.

Zespół wrzeciona głównego

Sekcja wrzeciona głównego wykonuje faktyczną operację cięcia między rolkami.

Zespół posuwu

Element obrabiany jest mocowany do systemu posuwu i przemieszczany z zaprogramowaną prędkością podczas cięcia.

Te zespoły są opisane jako główne komponenty całego systemu maszynowego.

System emulsji i chłodzenia

Maszyna tnąca jest wyposażona w system obiegu emulsji o pojemności zbiornika:

300 L

Zbiornik emulsji zapewnia chłodzenie i płyn tnący podczas przetwarzania.

Wymiennik ciepła służy do kontrolowania temperatury płynu tnącego za pomocą zewnętrznej wody chłodzącej. Określone wymagania dotyczące wody chłodzącej obejmują:

Obieg wody chłodzącej wykorzystuje izolację w celu zmniejszenia kondensacji.

Sztywna konstrukcja maszyny

Obudowa maszyny wykonana jest z wysokowytrzymałej stali, a podstawa z odlewu zintegrowanego w celu poprawy ogólnej sztywności.

Urządzenie jest również zaprojektowane z tacą pod maszyną, aby zmniejszyć możliwość wycieku płynu tnącego bezpośrednio na podłogę instalacji.

Pneumatyczne urządzenie zabezpieczające jest zainstalowane w górnej części urządzenia w celu poprawy bezpieczeństwa i stabilności platformy podnoszącej.

Architektura z napędem bezpośrednim

System napędowy wykorzystuje sprzęgło bezpośrednie.

Zgodnie z dostarczoną specyfikacją urządzenia, główne zalety konstrukcji z napędem bezpośrednim obejmują:

• Niższy poziom hałasu roboczego
• Zmniejszone zużycie części eksploatacyjnych
• Wyższa precyzja napędu

Główne rolki są również napędzane indywidualnie silnikiem. Taka konstrukcja ma na celu zmniejszenie obciążenia przenoszonego z drutu na rolki oraz zmniejszenie zużycia rowków rolek i zużycia drutu.

Kompaktowe rozmieszczenie rolek

Dokumentowana odległość między osiami rolek wynosi około:

270 mm

Krótsza odległość jest zaprojektowana w celu zmniejszenia odległości między głównymi rolkami, a tym samym poprawy warunków cięcia.

Zgodnie z oryginalną dokumentacją techniczną, taka konstrukcja ma na celu poprawę wydajności cięcia przy jednoczesnym skróceniu czasu przetwarzania i zmniejszeniu zużycia drutu.

Monitorowanie zerwania drutu

Zerwanie drutu jest istotnym ryzykiem procesowym podczas cięcia płytek.

Urządzenie zawiera wykrywanie zerwania drutu jako część swojej standardowej konfiguracji technicznej.

Maszyna wykorzystuje również dwustronne monitorowanie alarmu zerwania w celu poprawy czułości wykrywania zerwania. Jej system sterowania zawiera zabezpieczenia mające na celu zmniejszenie zerwania drutu podczas nieoczekiwanej przerwy w zasilaniu.

Dokładność mechaniczna

Specyfikacja odbioru maszyny obejmuje kilka ważnych parametrów kontroli mechanicznej:

Wartości te definiują udokumentowane wymagania odbioru na poziomie maszyny.

Zdolność cięcia cienkich płytek

Dokumentacja urządzenia podaje:

Dokładność cięcia: ±0,01 mm

i

Minimalna grubość cięcia: <0,05 mm

Dokładna grubość osiągalna w produkcji będzie zależeć od elementu obrabianego, specyfikacji drutu, przepisu procesu, płynu tnącego, metody obsługi i wymaganego uzysk.

W przypadku projektów dotyczących bardzo cienkich płytek, klienci powinni podać docelową grubość i tolerancję przed sfinalizowaniem konfiguracji urządzenia.

Wymagania elektryczne i instalacyjne

Standardowe zasilanie maszyny:

Trójfazowe czteroprzewodowe AC 380 V ±10%, 50/60 Hz

Dokumentacja techniczna określa instalację kabla miedzianego o przekroju 16 mm² lub większym.

Wspomniane zużycie energii przez maszynę wynosi około:

5 kWh

Rzeczywiste zużycie może się różnić w zależności od warunków pracy i systemów pomocniczych.

Zalecane środowisko instalacji

Zalecane warunki środowiskowe obejmują:

Specyfikacja maszyny potwierdza również obsługę maksymalnej pojemności drutu powyżej 100 km przy użyciu drutu Ø0,03 mm, sześciu kółek prowadzących, zbiornika emulsji o pojemności 300 L i hydraulicznego mocowania elementu obrabianego.

Zastosowanie

Udokumentowane zastosowanie tego urządzenia to:

Cięcie płytek półprzewodnikowych.

Typowe projekty klientów mogą obejmować różne średnice płytek, docelowe grubości i wymagania produkcyjne.

Ponieważ zachowanie podczas cięcia znacznie różni się w zależności od materiału, klienci planujący obrabiać różne materiały półprzewodnikowe lub twarde kruche materiały powinni przekazać informacje o materiale do ZMSH w celu oceny procesu przed potwierdzeniem ostatecznej konfiguracji maszyny.

Niestandardowa konfiguracja urządzenia

Różne projekty płytek półprzewodnikowych mogą wymagać różnych:

• Średnica drutu
• Naprężenie drutu
• Prędkość posuwu
• Uchwyt elementu obrabianego
• Warunki chłodzenia
• Konfiguracja emulsji
• Interfejs komunikacyjny
• Wydajność produkcji

Opcjonalne konfiguracje wymienione w dokumentacji urządzenia obejmują komunikację SECS II, sprzęt chłodzący i kontrolę temperatury mocowania elementu obrabianego.

ZMSH może zatem ocenić konfigurację urządzenia zgodnie z wymaganiami procesu klienta.

Informacje do zapytania ofertowego

W celu uzyskania wyceny lub oceny technicznej prosimy o podanie:

1. Materiał
2. Wymiary elementu obrabianego
3. Wymagane wymiary płytki
4. Docelowa grubość płytki
5. Tolerancja grubości
6. Ilość na partię
7. Miesięczna lub dzienna wydajność
8. Specyfikacja drutu, jeśli już zdefiniowana
9. Wymagana dokładność cięcia
10. Warunki wody chłodzącej
11. Zasilanie fabryczne
12. Wymagane funkcje opcjonalne

Podanie tych szczegółów pomaga określić odpowiednią konfigurację maszyny i procesu.

Często zadawane pytania

Jaka jest maksymalna prędkość drutu tnącego?

Maksymalna określona prędkość drutu wynosi 2200 m/min.

Jakiej średnicy drutu może używać maszyna?

Określony zakres średnic drutu to 0,014–0,10 mm.

Jak cienko może ciąć maszyna?

Dokumentacja urządzenia podaje, że możliwe jest cięcie poniżej 0,05 mm przy odpowiednich warunkach pracy.