|
| Nazwa marki: | ZMSH |
| Numer modelu: | Kwarcowe słoiki z dzwonkami |
| MOQ: | 5 |
| Cena £: | by case |
| Czas dostawy: | 2-4 tygodnie |
| Warunki płatności: | T/t |
Klosze kwarcowe ZMSH są produkowane z wysokiej czystości materiałów kwarcowych, specjalnie zaprojektowanych, aby sprostać rygorystycznym wymaganiom nowoczesnej produkcji półprzewodników i środowiskom procesów próżniowych. Wykorzystując wyjątkową stabilność termiczną i chemiczną obojętność, produkt ten wykazuje wyjątkową przydatność w krytycznych procesach, takich jak utlenianie płytek, wyżarzanie półprzewodników i chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD).
Zaprojektowane z myślą o bezproblemowej integracji, klosze kwarcowe ZMSH są w pełni kompatybilne z różnymi systemami i komorami próżniowymi typu kloszowego, zapewniając wysoką wydajność i niezawodność działania. Struktura z wysokiej czystości kwarcu zapewnia niezwykłą trwałość i stabilną długoterminową wydajność, niezależnie od tego, czy są używane w szklanych zestawach kloszy próżniowych, czy w scenariuszach procesów wysokotemperaturowych.
Opierając się na doświadczeniu ZMSH w produkcji komponentów kwarcowych dla półprzewodników, nasze kwarcowe klosze wytrzymują nie tylko wysokie temperatury, ale także zachowują ekstremalną czystość materiału podczas krytycznych procesów. Klosze te znajdują szerokie zastosowanie zarówno w laboratoriach badawczych, jak i w urządzeniach przemysłowych, przyczyniając się do zwiększenia spójności procesów i poprawy ogólnej wydajności systemów próżniowych.
Poniżej znajduje się przegląd głównych parametrów kloszy kwarcowych w generatorach plazmy dla półprzewodników, podkreślający kluczowe specyfikacje:
| Kategoria parametrów | Konkretne parametry | Uwagi/Wyjaśnienie |
| Właściwości materiału | Czystość: ≥99,999% (klasa 5N) Odporność na temperaturę: Długotrwała ≥1000°C, krótkotrwała do 1200°C Współczynnik rozszerzalności cieplnej: ~5,5 × 10⁻⁷/°C |
Wysoka czystość jest kluczem do ograniczenia zanieczyszczeń; niski współczynnik rozszerzalności zapewnia stabilność termiczną |
| Wymiary geometryczne | Średnica: Do setek milimetrów (kompatybilna z różnymi narzędziami) Struktura: Kształt klosza (kopuła) lub cylindryczny |
Wymiary muszą odpowiadać komorze reakcyjnej i rozmiarowi podłoża |
| Wydajność optyczna | Transmisja: Wysoka transmisja od głębokiego ultrafioletu do fal podczerwonych | Ułatwia monitorowanie optyczne i wykrywanie punktu końcowego procesu |
| Zgodność z procesem | Wytrzymałość na próżnię: Wysoka próżnia (np. 10⁻⁶ ~ 10⁻⁹ Torr) Odporność na korozję plazmową: Odporny na typowe gazy procesowe, takie jak CF₄, O₂ |
Zapewnia długotrwałą stabilną pracę w trudnych warunkach plazmowych |
Rolę kwarcowego klosza w generatorze plazmy dla półprzewodników można rozumieć jako "tworzenie i ochrona idealnej przestrzeni dla reakcji plazmowych".
1. Projekt i struktura
2. Standard wysokiej czystości
3. Stabilność termiczna
4. Obecność chemiczna
5. Przezroczystość optyczna
6. Kompatybilność z próżnią
W oparciu o powyższe właściwości, kwarcowe klosze są używane głównie w następujących kluczowych procesach produkcji półprzewodników:
ZMSH specjalizuje się w dostarczaniu wysokowydajnych rozwiązań materiałowych dla sektorów półprzewodników, optoelektroniki i produkcji wysokiej klasy. Dzięki dojrzałym możliwościom w zakresie dostosowywania kluczowych komponentów do urządzeń do obróbki plazmowej - takich jak kwarcowe klosze - ZMSH wykorzystuje wysokiej czystości materiały kwarcowe dostosowane do wymagań klienta w zakresie uszczelniania, odporności na temperaturę i odporności na korozję plazmową. Firma precyzyjnie kontroluje wymiary, interfejsy kołnierzowe i transmisję optyczną, aby zapewnić stabilną wydajność w procesach wytrawiania, CVD i innych.
Ponadto ZMSH dostarcza szereg niestandardowych produktów, w tym szafirowe okna optyczne i podłoża, podłoża z węglika krzemu (SiC) do urządzeń mocy, płytki krzemowe, niestandardowe komponenty kwarcowe i płytki SOI. Oferty te obejmują pełnozakresowe usługi, od przygotowania materiału po precyzyjną obróbkę (np. cięcie, szlifowanie, polerowanie), spełniając rygorystyczne wymagania dotyczące wysokiej twardości, przewodności cieplnej i izolacji w takich branżach, jak elektronika użytkowa, lotnictwo i urządzenia medyczne.
Dzięki integracji badań i rozwoju materiałów z elastycznym systemem produkcyjnym, ZMSH umożliwia szybkie prototypowanie i dostarczanie partii niestandardowych produktów, wspierając innowacje technologiczne i modernizację produktów dla klientów.
1. P: Jaka jest główna funkcja kwarcowego klosza w procesach plazmowych dla półprzewodników?
O: Kwarcowy klosz służy jako uszczelniona komora o wysokiej czystości, zapewniając stabilne środowisko dla reakcji plazmowych. Jego wysoka przepuszczalność światła i odporność na korozję zapewniają jednorodność i niski poziom zanieczyszczeń w procesach takich jak wytrawianie i osadzanie.
2. P: Jak ustalić, czy kwarcowy klosz wymaga wymiany?
O: Kwarcowy klosz wymaga wymiany, gdy powtarzające się czyszczenie lub korozja plazmowa powoduje, że jego grubość spada poniżej bezpiecznego progu (np. grubość w kluczowych punktach pomiarowych odbiega od zakresu referencyjnego) lub gdy nadmierne osady powierzchni zaczynają wpływać na stabilność plazmy.
Tagi: #Klosze kwarcowe, #Opcje powlekania, #Niestandardowe rozmiary/kształty, #Generatory plazmy dla półprzewodników, #Niestandardowe, #Topiony krzemionka, #Topiony kwarc, #Klosz kwarcowy o wysokiej czystości
wideo
