2 "Safir Wafer, poza oś C w kierunku płaszczyzny A 2°, 430 μm grubości, DSP/SSP

2 "Safir Wafer Off C-Axis w kierunku A-Plane2°Al.2O₃,430μm Grubość, DSP/SSP

To...2-calowa płytka safirowaultra-precyzyjne cechyOd osi C do płaszczyzny A 2° a także990,999% (5N) czystości, zoptymalizowany do wysokiej wydajności wzrostu epitaksjalnego i specjalistycznych zastosowań optoelektronicznych.430 μm grubościi opcjePolerowanie dwustronne (DSP) lub polerowanie jednostronne (SSP), płytka zapewnia wyjątkową jakość powierzchni (Ra <0,3 nm) i spójność kryształową, co czyni ją idealną do urządzeń opartych na GaN, systemów laserowych i substratów badawczych.Jego kontrolowana orientacja poza osią zmniejsza defekty stopniowe podczas epitaksii, podczas gdy ultra wysoka czystość zapewnia minimalną degradację wydajności spowodowaną zanieczyszczeniami w wrażliwych zastosowaniach, takich jak optyka kwantowa i filtry RF.

Główne cechy płytki szafirowej o długości 2'

Dokładna orientacja odcięcia:

Z płaszczyzny C w kierunku osi A 2°, zaprojektowane w celu zwiększenia jednolitości warstwy epitaksyalnej i zmniejszenia wad wzrostu GaN.

Bardzo wysoka czystość:

990,999% (5N) Al2O₃, z śladowymi zanieczyszczeniami (Fe, Ti, Si) < 5 ppm, kluczowe dla urządzeń o wysokiej częstotliwości i niskiej stratze.

Jakość powierzchni podmikronowej:

Opcje DSP/SSP:

DSP: Ra < 0,3 nm (po obu stronach), idealny do zastosowań optycznych i laserowych.

SSP: Ra <0,5 nm (strona przednia), opłacalna do epitaksii.

TTV < 5 μmdo jednolitego osadzenia cienkich folii.

Doskonałość materialna:

Stabilność termiczna: Punkt topnienia ~ 2,050°C, odpowiedni do procesów MOCVD/MBE.

Przejrzystość optyczna: > 90% transmisji (400 nm ≈ 4000 nm).

Wytrzymałość mechaniczna: 9 twardość Mohsa, odporność na ety chemiczne.

Konsekwencja w zakresie badań:

Gęstość wychylenia < 300 cm- Nie.², zapewniając wysoki wydajność badań i rozwoju oraz produkcji pilotażowej.

Wnioski

GaN Epitaxy:

LED/diody laserowe: emitery błękitne/UV o zmniejszonej zwichnięciu nitek.

HEMT: Tranzystory o wysokiej mobilności elektronicznej do 5G i radaru.

Komponenty optyczne:

Okna laserowe: Niska strata rozpraszania dla laserów CO2 i UV.

Przewodniki fal: płytki DSP do zintegrowanej fotoniki.

Urządzenia fal akustycznych:

Filtry SAW/BAW: Oryginacja odcięta poprawia stabilność częstotliwości.

Technologie kwantowe:

Źródła jednofotonowe: Substraty o wysokiej czystości do kryształów SPDC.

Czujniki przemysłowe:

Czujniki ciśnienia/temperatury: pokrycia chemicznie obojętne dla trudnych warunków.

Specyfikacje

Pytania i odpowiedzi

Pytanie 1: Dlaczego wybrać 2° off-cut zamiast standardowej płaszczyzny C?
A1:W sprawie2° odcinek odcinający stopniowe wiązaniew trakcie epitaksy GaN, poprawiając jednolitość warstwy i zmniejszając wady w diodach LED o wysokiej jasności i diodach laserowych.

P2: Jak czystość 5N wpływa na wydajność urządzenia RF?
A2: 99.999% czystość minimalizuje straty dielektrycznew wysokich częstotliwościach, kluczowych dla filtrów 5G i wzmacniaczy o niskim poziomie hałasu.

P3: Czy płytki DSP mogą być stosowane do bezpośredniego wiązania?
A3:Tak, DSP.< 0,3 nm grubościumożliwia wiązanie na poziomie atomowym w celu heterogenicznej integracji (np. szafir na krzemu).

P4: Jakie są zalety grubości 430 μm?
A4:Bilansowewytrzymałość mechaniczna(do obsługi) zprzewodność cieplna, optymalne dla szybkiego przetwarzania termicznego.