Wysokiej czystości płytka nośna powlekana SiC do obróbki i przenoszenia płytek

Wysokiej czystości płytka nośna powlekana SiC do obróbki i przenoszenia płytek

Płytka przenośna SiC (Płytka przenośna węglowodorów krzemowych) to wysokiej wydajności element ceramiczny szeroko stosowany w zaawansowanych sektorach produkcyjnych, takich jak półprzewodniki, diody LED i elektronika mocy.Znany z wyjątkowej odporności na ciepłoZMSH dostarcza niestandardowe rozwiązania płytek nośnych SiC.w tym projektowanie, produkcji, testowania i wsparcia po sprzedaży, zapewniając optymalną wydajność i niezawodność obsługi płytek, wzrostu epitaksyalnego i innych krytycznych zastosowań.

Specyfikacja techniczna:

Główne cechyPłytka nośna SiC

1.Odporność na bardzo wysokie temperaturyStabilne działanie do 1650°C, idealne do CVD, MOCVD i innych procesów o wysokiej temperaturze.

2.Wyższe zarządzanie cieplnePrzewodność cieplna 120-200 W/m·K zapewnia szybkie rozpraszanie ciepła i minimalizuje napięcie cieplne.

3.Niska ekspansja termiczna(4.3×10−6/K) Wyjątkowa stabilność wymiarowa w wysokich temperaturach, zapobiegająca nieprawidłowemu ustawieniu lub pękaniu płytki.

4.Wysoka twardość i odporność na zużycieTwardość Mohsa 9.2, znacznie przewyższający kwarc i grafyt, wydłuża żywotność.

5.Bezczynność chemiczna- Odporny na kwasy, zasoby alkaliczne i erozję plazmy, odpowiedni do trudnych warunków.

6.Wysoka czystość i wolne od zanieczyszczeń Poziom zanieczyszczeń metali < 1 ppm, spełniający standardy czystości półprzewodników.

Główne zastosowaniaPłytka nośna SiC

- Nie.

· Produkcja półprzewodników️ Epitaxia płytki (GaN/SiC), nośnik komory reakcji CVD.

· Produkcja LEDWspiera substraty safirów dla jednolitego wzrostu MOCVD.

· Elektryka energetyczna

· Zaawansowane opakowania√ Precyzyjne umieszczenie i przetwarzanie laserowe podłoża.

Kompatybilność procesów, materiały i zastosowania

Zdjęcia produktówPłytka nośna SiC

ZMSH dostarcza kompleksowe rozwiązania dla płyt nośnych z węglanu krzemowego (SiC Carrier Plates), oferując niestandardowe usługi projektowe z dostosowanymi wymiarami, wzorami przysłony,i obróbki powierzchniowe, w tym polerowanie lustrzane i specjalistyczne powłoki, precyzyjna produkcja z wykorzystaniem procesów CVD/RBSiC, które utrzymują ścisłą spójność partii w zakresie tolerancji ±0,05 mm, rygorystyczne protokoły kontroli jakości,przyspieszona dostawa prototypu w ciągu 72 godzin, a także globalne wsparcie techniczne z możliwością reagowania przez 24 godziny na dobę i 7 dni w tygodniu, zapewniające klientom produkty o wysokiej wydajności, wyjątkowej jednolitości i niezawodności dla ich kluczowych zastosowań.