Całkowicie automatyczne precyzyjne cięcie piły do cięcia płytek o pojemności 12 cali

Abstrakt

Całkowicie automatyczne precyzyjne cięcie piły do cięcia płytek o pojemności 12 cali

Całkowicie automatyczna piła do cięcia precyzyjnej jest zaawansowanym systemem cięcia półprzewodników zaprojektowanym do wysokiej precyzji separacji płytek (8"/12") i kruchych materiałów.Wykorzystanie technologii lampy diamentowej (30,000-60,000 RPM), osiąga dokładność cięcia na poziomie mikrona (± 2 μm) przy minimalnym szczeleniu (< 5 μm), przewyższając alternatywne metody w zastosowaniach półprzewodnikowych i zaawansowanych opakowań.System integruje szpilki o wysokiej sztywności, etapy pozycjonowania nanometrycznego i inteligentne ustawienie widzenia do pracy bezzałogowej, spełniające rygorystyczne wymagania nowoczesnej produkcji chipów i przetwarzania półprzewodników trzeciej generacji.

Parametry techniczne

Zalety

1Szybkie skanowanie kadry kasetowej z systemem ostrzegania przed kolizją umożliwia szybkie precyzyjne pozycjonowanie i lepszą możliwość korekty błędów;

2Innowacyjny tryb cięcia synchronicznego z dwoma wrotami zwiększa wydajność obróbki o 80% w porównaniu z systemami z jednym wrotem;

3. Premium importowane śruby kulkowe, przewodniki liniowe i kontrolę zamkniętej pętli osi Y zapewniają długoterminową stabilność obróbki;

4. Całkowicie zautomatyzowana obsługa (ładowanie/pozycjonowanie/cięcie/inspekcja) znacznie zmniejsza interwencję ręczną;

5Unikalna konstrukcja podwójnych wrotów w stylu bramki z minimalną odległością ostrza 24 mm spełnia różnorodne wymagania cięcia;

Cechy

1. Wysoce precyzyjny system pomiaru wysokości bez kontaktu;

2. Możliwość jednoczesnego cięcia wielowafery z dwoma ostrzami;

3Inteligentne systemy wykrywania (automatyczna kalibracja/inspekcja śladu cięcia/monitorowanie pęknięć ostrza);

4. Algorytmy wielowarunkowego wyrównania dostosowywalne do różnych wymagań procesu;

5. Monitoring pozycji w czasie rzeczywistym z automatyczną korektą błędów;

6Mechanizm weryfikacji jakości pierwszego kawałka;

7Zastosowalna integracja modułu automatyki fabrycznej;

Materiały i zastosowania adaptacyjne

Wpływ obróbki