Szczegóły Produktu
Place of Origin: CHINA
Nazwa handlowa: ZMSH
Orzecznictwo: rohs
Model Number: Sic growth furnace PVT method
Warunki płatności i wysyłki
Minimum Order Quantity: 1
Cena: by case
Delivery Time: 5-10months
Payment Terms: T/T
Purpose:: |
Sic growth furnace PVT method |
Dimensions (L × W × H):: |
3200x1150x3600mm or customize |
Zakres temperatury:: |
900 ~ 3000 ℃ |
Heating method:: |
Induction heating |
Maximum Furnace Temperature:: |
2400℃ |
Zasilacz ogrzewania:: |
Pmix = 40 kW, częstotliwość 8 ~ 12 kHz; |
Purpose:: |
Sic growth furnace PVT method |
Dimensions (L × W × H):: |
3200x1150x3600mm or customize |
Zakres temperatury:: |
900 ~ 3000 ℃ |
Heating method:: |
Induction heating |
Maximum Furnace Temperature:: |
2400℃ |
Zasilacz ogrzewania:: |
Pmix = 40 kW, częstotliwość 8 ~ 12 kHz; |
Piekarnik indukcyjny do wzrostu węglika krzemu jest urządzeniem do hodowli wysokiej jakości kryształów węglika krzemu (SiC) przy użyciu technologii podgrzewania indukcyjnego w celu zapewnienia środowiska o wysokiej temperaturze.Piece do wzrostu indukcyjne bezpośrednio podgrzewają grzejnik grafitowy i surowce za pomocą zasady indukcji elektromagnetycznejMa charakterystykę szybkiego nagrzewania, precyzyjnej kontroli temperatury i niskiego zużycia energii i jest jednym z kluczowych urządzeń do przygotowania pojedynczego kryształu węglanu krzemowego.
· Wysoka wydajność ogrzewania: prędkość ogrzewania indukcyjnego, wysoka wydajność cieplna, niskie zużycie energii.
· Precyzyjna kontrola temperatury: dokładność kontroli temperatury może osiągnąć ± 1°C, aby zapewnić jakość wzrostu kryształu.
· Wysoka stabilność: podgrzewanie indukcyjne bez kontaktu, zmniejszenie zanieczyszczeń, odpowiednie do długotrwałej ciągłej pracy.
· Niskie zanieczyszczenie: do zmniejszenia wpływu zanieczyszczeń na jakość kryształu stosuje się grafit o wysokiej czystości i atmosferę obojętną.
Specyfikacja | Szczegóły |
---|---|
Wymiary (L × W × H) | 3200x1150x3600 mmlub dostosować |
Średnica komory pieca | Średnie 400 mm |
Ograniczenie próżni | 5x10-4Pa ((1,5h po uruchomieniu pompy molekularnej) |
Przesunięcie cewki indukcyjnej | 200 mm |
Uderzenie podwozia pieca | 1250 mm |
Metoda podgrzewania | Ogrzewanie indukcyjne |
Metoda podgrzewania | Ogrzewanie indukcyjne |
Maksymalna temperatura w piecu | 2400°C |
Zasilanie grzewcze | Pmax=40Kw, częstotliwość 8~12KHz |
Pomiar temperatury | Dwubarwne pomiary temperatury podczerwonej |
Temperaturapomiarzakres | 900~3000°C |
Dokładność regulacji temperatury | ±1°C |
Zakres ciśnienia regulacyjnego | 1~700mbar |
Dokładność kontroli ciśnienia | 1 ~ 10mbanr, ± 0,5% F.S.; 10-100 mg/l, 0,5% F.S.; 100~700mbar±0.5mbar |
Metoda ładowania Tryb ładowania | Obciążenie mniejsze, łatwe w obsłudze, bezpieczne |
Opcjonalna konfiguracja | Rotacja tankowca, podwójny punkt pomiaru temperatury. |
1. spełnić 6 cali / 8 cali wzrost kryształu;
2. spełniają półizolowane i przewodzące środowisko wzrostu kryształów, obrót tygła w celu poprawy jednolitości temperatury, podnoszenie cewki w celu zmniejszenia zakłóceń;
3. dwuwarstwowa konstrukcja kwarcowa, chłodzona wodą, może skutecznie poprawić żywotność komory, zapewnić stabilne, długie środowisko krystaliczne, sprzyjające wzrostowi wysokiej jakości kryształów;
4. dokładne monitorowanie temperatury w czasie rzeczywistym w celu ułatwienia debugowania procesu;
5. opcjonalny tryb pracy stałej mocy, stałego prądu, stałej temperatury;
6. inteligentne uruchamianie z jednym kluczem, zmniejszenie interwencji ręcznej, sprzyjające produkcji na dużą skalę;
7. węglika krzemowego induction długiego pieca krystalicznego jest odpowiedni do wzrostu wysokiej jakości sześciu cali węglika krzemowego produktu pojedynczego, wysokiej czystości węglika krzemowego syntetyki surowca,grzanie kryształowe i inne dziedziny;
8. kompaktowa trójwymiarowa konstrukcja maszyny, wygodne rozmieszczenie, poprawa wykorzystania instalacji;
9Wykorzystanie wysokiej precyzji zaworu motylkowego i przepływoometru masowego do kontrolowania ciśnienia wzrostu w piecu, zapewniając stabilną atmosferę wzrostu.maksymalna dokładność regulacji ciśnienia ±1Pa może być osiągnięta pod ciśnieniem wzrostu kryształu.
Piekło do wzrostu indukcyjnego węglika krzemowego może skutecznie produkować wysokiej jakości i nisko wadliwy pojedynczy kryształ węglika krzemowego, czystość kryształu może osiągnąć 99,999% lub więcej.Te pojedyncze kryształy są wykorzystywane do produkcji urządzeń o wysokiej wydajności (takich jak MOSFET)., diody Schottky) i urządzenia RF o wysokiej odporności na napięcie, niskiej stratze i charakterystyce wysokiej częstotliwości, znacząco poprawiające wydajność pojazdów elektrycznych,Inwertery słoneczne i urządzenia komunikacyjne 5GPonadto wysoka stabilność temperatury i precyzyjna kontrola temperatury pieców wzrostu indukcyjnego zapewniają spójność kryształową i wydajność,spełniające rygorystyczne wymagania materiałowe przemysłu półprzewodnikowego.
ZMSH świadczy usługi projektowania, produkcji, montażu i wsparcia posprzedażnego dla pieców wzrostu indukcyjnego węglem krzemowym, w tym dostosowywania urządzeń,optymalizacja procesów i szkolenia techniczneDzięki zaawansowanej technologii ogrzewania indukcyjnego i bogatej doświadczeniu w branży, zapewniamy wysoką wydajność, stabilność i niskie zużycie energii naszych urządzeń,zapewnienie szybkiej odpowiedzi i 24/7 wsparcia technicznego, aby pomóc klientom w osiągnięciu wielkoskalowej produkcji wysokiej jakości kryształów węglika krzemu.
1. P: Do czego służy piec wzrostu indukcyjnego węglem krzemowym?
Odpowiedź: Jest stosowany do hodowli wysokiej jakości kryształów węglanu krzemu (SiC) metodą fizycznego transportu pary (PVT), niezbędną do produkcji elektroniki mocy i urządzeń RF.
2P: Dlaczego piec indukcyjna jest preferowana do wzrostu kryształów SiC?
Odpowiedź: Piece indukcyjne zapewniają szybkie ogrzewanie, precyzyjną kontrolę temperatury i wysoką efektywność energetyczną, dzięki czemu są idealne do produkcji kryształów SiC o niskiej wadze i wysokiej czystości.
Tag: #Karbyd krzemowy, #SIC, #PVT #SIC Ingot, #6/8/12 cali Sic Ingot, #SIC boule, #Sic kryształowy wzrost, #Induction heating