Sic odporność wzrost pieca kryształowy wysokiej temperatury paliwa 6 cali 8 cali 12 cali
Piekarnik kryształowy o odporności na węglik krzemowy jest rodzajem sprzętu specjalnie stosowanego do hodowli kryształów węglika krzemowego (SiC).Karbid krzemowy ma doskonałe właściwości, takie jak wysoka przewodność cieplna, wysokiego rozpadu pola elektrycznego i wysokiej prędkości odpływu nasycenia elektronów, i jest szeroko stosowany w elektronika mocy, urządzenia częstotliwości radiowych i półprzewodników o wysokiej temperaturze.Rezystywny długokrystaliczny piec zapewnia środowisko o wysokiej temperaturze poprzez ocieplenie rezystywne, który jest kluczowym sprzętem do realizacji wzrostu kryształu węglika krzemowego.
Charakterystyka pieca długokrystalicznego o odporności SIC
· Pojemność wysokiej temperatury: może zapewnić środowisko o wysokiej temperaturze powyżej 2000°C, aby zaspokoić potrzeby wzrostu kryształów węglanu krzemowego.
· Wysokiej precyzji regulacja temperatury: dokładność regulacji temperatury może osiągnąć ±1°C, aby zapewnić jakość wzrostu kryształu.
· Wysoka stabilność: metoda ogrzewania oporowego jest stabilna i niezawodna, nadaje się do długotrwałej ciągłej pracy.
· Niskie zanieczyszczenie: do zmniejszenia wpływu zanieczyszczeń na jakość kryształu wykorzystuje się materiały o wysokiej czystości i atmosferę obojętną.
Specyfikacje techniczne
| Specyfikacja |
Szczegóły |
| Wymiary (L × W × H) |
2500 × 2400 × 3456 mm lub dostosować |
| Średnica tankownika |
900 mm |
| Ostateczne ciśnienie próżni |
6 × 10−4 Pa (po 1,5 h próżni) |
| Wskaźnik wycieku |
≤ 5 Pa/12h (przepiekanie) |
| Średnica wału obrotowego |
50 mm |
| Prędkość obrotu |
00,05 rpm |
| Metoda podgrzewania |
Elektryczne ogrzewanie oporowe |
| Maksymalna temperatura pieca |
2500°C |
| Pojemność ogrzewania |
40 kW × 2 × 20 kW |
| Pomiar temperatury |
Pirometr podczerwony dwukolorowy |
| Zakres temperatury |
900 ≈ 3000°C |
| Dokładność temperatury |
±1°C |
| Zakres ciśnienia |
1 ‰ 700 mbar |
| Dokładność kontroli ciśnienia |
1 ‰ 10 mbar: ±0,5% F.S.;
10-100 mbar: ±0,5% F.S.;
100-700 mbar: ±0,5% F.S. |
| Rodzaj operacji |
Pojemność dołu, opcje bezpieczeństwa ręczne/automatyczne |
| Opcjonalne cechy |
Pomiar podwójnej temperatury, wiele stref ogrzewania |
Wyniki pieca wzrostu odporności Sic
Wynik wzrostu
Wykorzystując zaawansowany fizyczny transfer par (PVT), piec do wzrostu odporności SiC może precyzyjnie kontrolować warunki wzrostu kryształu w wysokich temperaturach, aby zapewnić wzrost wysokiej jakości,kryształy pojedyncze węglanu krzemu o niskim wadzeSprzęt posiada cechy wysokiej precyzji kontroli temperatury (± 1°C), wysokiej wydajności i oszczędności energii, stabilności i niezawodności, odpowiednie do długotrwałej ciągłej pracy. The equipment provided by ZMSH is also equipped with an intelligent monitoring system that adjusts growth parameters in real time to further improve crystal consistency and yield to meet the semiconductor industry's demanding requirements for high-performance crystals.
Standardowy półprzewodnik produkcyjny
ZMSH posiada wieloletnie doświadczenie technologiczne w dziedzinie pieców do wzrostu odporności SiC, zapewniając kompleksowe usługi od projektowania i produkcji sprzętu po wsparcie posprzedażne.Nasze urządzenia nie tylko spełniają standardy przemysłu półprzewodników, ale są również zoptymalizowane do zastosowań takich jak elektronika mocy, urządzenia RF i nowa energia, aby zapewnić lepszą wydajność kryształu w warunkach wysokiej temperatury, wysokiej częstotliwości i wysokiej mocy.
Usługa ZMSH
ZMSH koncentruje się na dostarczaniu wysokiej wydajności pieców wzrostu odporności SiC i usług wspierających, w tym dostosowywania sprzętu, optymalizacji procesów i wsparcia technicznego.Z wieloletnim doświadczeniem w branży, zapewniamy precyzyjną kontrolę temperatury, stabilność i efektywność energetyczną sprzętu, aby zaspokoić zapotrzebowanie przemysłu półprzewodnikowego na wysokiej jakości kryształy węglika krzemu.Siła ZMSH leży w szybkiej dostawie, dostosowane rozwiązania i 24/7 obsługa posprzedażna, zapewniając klientom kompleksowe wsparcie od instalacji sprzętu do optymalizacji procesu wzrostu kryształu,Pomoc klientom w osiągnięciu pozycji lidera w dziedzinie elektroniki mocy, urządzeń radiowych i innych dziedzin.
Pytania i odpowiedzi
Twoja wiadomość musi mieć od 20 do 3000 znaków!
