Szczegóły Produktu
Place of Origin: CHINA
Nazwa handlowa: ZMSH
Orzecznictwo: rohs
Model Number: Automatic double cavity fast annealing furnace
Warunki płatności i wysyłki
Minimum Order Quantity: 1
Cena: by case
Payment Terms: T/T
Temperature range:: |
1300℃ |
Heating rate:: |
Up to 100°C/ s |
Degree of automation:: |
Fully automatic control system |
Application:: |
SIC,GaN and other third generation semiconductor field |
Temperature range:: |
1300℃ |
Heating rate:: |
Up to 100°C/ s |
Degree of automation:: |
Fully automatic control system |
Application:: |
SIC,GaN and other third generation semiconductor field |
Opis produktu
Automatyczny piec szybkiego grzania z podwójnymi komorami jest wysokoprzyzwoitym urządzeniem do obróbki cieplnej przeznaczonym do materiałów półprzewodnikowych,o pojemności nieprzekraczającej 10 WW przemyśle materiałów półprzewodnikowych urządzenie jest wykorzystywane głównie do procesów obróbki cieplnej płytek, półprzewodników złożonych (takich jak GaN, SiC) i cienkich folii,optymalizacja właściwości elektrycznych i strukturalnych materiałów poprzez precyzyjną kontrolę temperatury i czasu, zwiększając wydajność i wydajność urządzenia.
Specyfikacja wyposażenia
1.Zakres temperatury:temperatury pokojowej do 1300°C (można dostosować wyższą temperaturę).
2.Prędkość ogrzewania:do 100°C/ s.
3.Liczba komór:Projekt podwójnej komory, obsługa procesów równoległych, poprawa wydajności produkcji.
4.Kontrola atmosfery:Wspieranie azotu, argonu, wodoru i innych atmosfer w celu spełnienia różnych wymagań procesu.
5.Jednorodność:Jednorodność pola temperatury ≤±1°C w celu zapewnienia jednolitego traktowania materiału.
6.Stopień automatyzacji:system automatycznego sterowania, wstępne ustawianie parametrów procesu wspierającego i zdalne monitorowanie.
Główne zastosowanie procesu
• półprzewodniki na bazie krzemu:Używany do szybkiego grzania termicznego (RTA) płytek krzemowych w celu aktywacji jonów dopingowanych i naprawy wad siatki.
· Półprzewodnik złożony:Jest odpowiedni do obróbki cieplnej GaN, SiC i innych szerokopasmowych materiałów półprzewodnikowych w celu poprawy jakości kryształu i charakterystyki interfejsu.
Materiał filmowy:Używane do wygrzewania folii metalowej i folii tlenkowej (takiej jak medium o wysokim k) w celu optymalizacji przewodności i stabilności folii.
· Implantacja jonowa/przeżarcie kontaktowe
· Gotowanie wysokiej temperatury
· Dyfuzja w wysokiej temperaturze
· Stopy metalowe
· Obróbka oksydacyjna termiczna
Główny obszar zastosowania
- Produkcja płytek:do aktywacji dopingowej, grzania tlenkiem i grzania metalizacją oraz innych kluczowych procesów.
- Urządzenie zasilanie:Odpowiedni do obróbki cieplnej SiC, GaN i innych urządzeń półprzewodnikowych mocy w celu poprawy wydajności i niezawodności urządzenia.
- Zaawansowane opakowanie:do grzania termicznego w procesach TSV (przez krzemionkę) i RDL (redystrybucja warstwy).
- Materiały fotoelektryczne:odpowiedni do procesu grzania diod LED, laserów i innych materiałów fotoelektrycznych, optymalizuje efektywność świetlną i spójność długości fali.
Nasze usługi
XKH świadczy usługi na zamówienie dla w pełni automatycznych szybkich pieców z podwójnymi komorami, w tym dostosowania specyfikacji sprzętu,optymalizacja parametrów procesu i wsparcie techniczne w celu zapewnienia, że sprzęt spełnia szczególne potrzeby klientówPonadto XKH zapewnia szkolenia instalacyjne, regularną konserwację i usługi modernizacji procesów, aby pomóc klientom zmaksymalizować wydajność sprzętu i wydajność produkcji,przyczynianie się do wysokiej jakości rozwoju przetwarzania materiałów półprzewodnikowych.
Tag: #Automatyczny półprzewodnik z podwójnymi jamami, szybki pieczar, #kompatybilny z 6calową, 8calową, 12calową płytką, #szybkie maszyny elektryczne, #przęty do obróbki cieplnej, #SIC, #GaN
wideo
wideo
wideo
