Rura szafirowa: Możliwość precyzyjnej obróbki wtórnej Wysoka transmitancja w szerokim spektrum

Przegląd produktu

   Rurki szafirowe to rurowe elementy monokrystaliczne wykonane z syntetycznego monokrystalicznego tlenku glinu o wysokiej czystości (α-Al₂O₃). Wlewki monokryształowe hoduje się za pomocą procesów takich jak metoda Kyropoulosa i wzrost z wykorzystaniem folii o zdefiniowanej krawędzi (EFG), a następnie poddaje się szeregowi procedur, w tym precyzyjnemu krojeniu wewnętrznemu, szlifowaniu cylindrycznemu wewnętrznemu/zewnętrznemu i polerowaniu powierzchni czołowej.Dziedziczą wszystkie doskonałe właściwości szafirowych materiałów monokrystalicznych, łącząc w sobie pięć podstawowych zalet: odporność na wysoką temperaturę, wysoką twardość, dużą odporność na korozję, wysoką izolację elektryczną i transmisję światła o szerokim spektrum. Mogą pracować stabilnie przez długi czas w ekstremalnych warunkach pracy, takich jak wysoka temperatura, wysokie ciśnienie, silna korozja i bombardowanie plazmą, stanowiąc wysokiej klasy ulepszoną alternatywę dla rur kwarcowych, rur ze szkła borokrzemianowego i zwykłych rur ceramicznych. Są szeroko stosowane w półprzewodnikach, przemyśle wysokotemperaturowym, laserach optycznych, płynach chemicznych, instrumentach badań naukowych i innych dziedzinach. Produkty umożliwiają personalizację pełnowymiarową i precyzyjną obróbkę wtórną oraz mogą odpowiadać interfejsom instalacyjnym i wymaganiom procesowym różnych urządzeń.

Podstawowe cechy techniczne

1. System materiałów monokrystalicznych o wysokiej czystości

Monokryształy hodowane są z surowca tlenku glinu o wysokiej czystości gatunku 4N5 (99,995%) i wyższego, o heksagonalnej strukturze krystalicznej w fazie α. Cała rura jest wolna od granic ziaren, porów i segregacji zanieczyszczeń. Jego integralność i jednorodność kryształów znacznie przewyższają polikrystaliczne rurki ceramiczne i szklane, zapewniając długoterminową stabilność działania w ekstremalnych warunkach pracy.

2. Bardzo wysoka odporność na temperaturę i szok termiczny

Materiał ma temperaturę topnienia do 2050 ℃, długoterminową ciągłą temperaturę pracy do 1600 ℃ i krótkotrwałą tolerancję na wysoką temperaturę 1900 ℃. Jego współczynnik rozszerzalności cieplnej wynosi tylko 5,8 × 10⁻⁶/℃, czyli znacznie mniej niż w przypadku zwykłego szkła, i może wytrzymać silny szok termiczny bez pękania. Nadaje się do wysokotemperaturowych scenariuszy termicznych, takich jak piece rurowe, spiekanie w wysokiej temperaturze i reakcje plazmowe.

3. Bardzo wysoka wytrzymałość mechaniczna i odporność na zużycie

Przy twardości w skali Mohsa wynoszącej 9, ustępując jedynie diamentowi, ma wytrzymałość na zginanie około 400 MPa i wytrzymałość na ściskanie około 2000 MPa. Ściana rury ma dużą sztywność mechaniczną, odporność na zużycie i zarysowania oraz może wytrzymać szorowanie płynem pod wysokim ciśnieniem i erozję przy szybkim przepływie powietrza. Nie jest łatwo spowodować zadrapania i zużycie po długotrwałym użytkowaniu, a jego żywotność jest kilkakrotnie dłuższa niż w przypadku rur kwarcowych.

4. Silna obojętność chemiczna i odporność na korozję

Jest prawie nierozpuszczalny we wszystkich mocnych kwasach, zasadach i rozpuszczalnikach organicznych w temperaturze pokojowej i może ulegać powolnej korozji pod wpływem kwasu fluorowodorowego i gorącego kwasu fosforowego. Może wytrzymać trudne warunki procesowe, takie jak trawienie plazmowe i osadzanie gazowe w produkcji półprzewodników, bez wydzielania cząstek i starzenia się materiału, zapewniając czystość procesu i wydajność produktu.

5. Doskonała izolacja elektryczna i właściwości dielektryczne

    Dzięki rezystywności w temperaturze pokojowej wyższej niż 10¹⁴ Ω·cm ma doskonałą izolację elektryczną, stabilną stałą dielektryczną i bardzo niskie straty dielektryczne. Może osiągnąć niezawodną izolację elektryczną w warunkach pracy przy wysokim napięciu i wysokiej częstotliwości bez wycieków, iskrzenia i zakłóceń sygnału i nadaje się do plazmy RF, zasilania wysokim napięciem, urządzeń mikrofalowych i innych scenariuszy.

6. Wydajność optyczna o szerokim spektrum i wysokiej transmitancji

Ma wysoką przepuszczalność światła w szerokim paśmie od ultrafioletu 190 nm do średniej podczerwieni 4,5 μm, a przepuszczalność światła widzialnego może osiągnąć ponad 85%. Rurki klasy optycznej umożliwiają polerowanie lustrzane zarówno ścian wewnętrznych, jak i zewnętrznych, a skuteczność transmisji światła można dodatkowo poprawić dzięki powłokom przeciwodblaskowym. Nadają się do zastosowań optycznych, takich jak wnęki laserowe, optyczne komory przepływowe i urządzenia reagujące na ultrafiolet.

7. Możliwość dostosowania pełnych parametrów i precyzyjnej obróbki

Obsługiwane jest pełnowymiarowe dostosowywanie średnicy zewnętrznej, średnicy wewnętrznej, grubości ścianki i długości. Można przetwarzać różne konstrukcje, takie jak rury proste, rury schodkowe, rury redukcyjne, rury rowkowane i rury kołnierzowe. Obróbkę wtórną, taką jak polerowanie lustrzane powierzchni czołowej, dokładne szlifowanie cylindryczne wewnętrzne/zewnętrzne, fazowanie, precyzyjne wiercenie i modelowanie powierzchni, można wykonać w celu dokładnego dopasowania do wymagań instalacji sprzętu.

8. Zespół uszczelniający i kompatybilność systemu

Można wykonać bardzo precyzyjny zespół uszczelniający rur szafirowych z metalowymi obudowami i podstawami ceramicznymi. Dostępne są komponenty wsporcze, takie jak niestandardowe kołnierze, interfejsy uszczelniające i konstrukcje pozycjonujące. Gotowe produkty można bezpośrednio podłączyć do systemów rurociągów urządzeń, zapewniając niezawodne uszczelnienie, spełniając wymagania dotyczące uszczelnienia w przypadku dostarczania gazu o wysokiej próżni, wysokim ciśnieniu i wysokiej czystości.

Standardowe specyfikacje

Typowe zastosowania

1. Pole półprzewodnikowe: Rury generatora plazmy, rury wykładzinowe komór reakcyjnych, rury dostarczające gaz procesowy, rury ochronne sprzętu do trawienia, rurociągi procesowe czyszczenia półprzewodników
2. Pole przemysłowe o wysokiej temperaturze: Wykładziny pieców rurowych, rury zabezpieczające przed spiekaniem w wysokiej temperaturze, tuleje ochronne termopar, rury pieca do hodowli monokrystalicznej, metalurgiczne wysokotemperaturowe rurki obserwacyjne
3. Optyczne pole laserowe: Lampy wnękowe lasera półprzewodnikowego, lampy ochronne do lamp błyskowych lasera, komory przepływowe do detekcji optycznej, optyczne lampy okienkowe UV/IR, probówki do próbek spektrometru
4. Pole płynu chemicznego: Rury do dostarczania płynów silnie korozyjnych, rury do reakcji chemicznych, rurociągi do średnich substancji o wysokiej czystości, rurki obserwacyjne do płynów pod wysokim ciśnieniem
5. Badania naukowe i dziedzina medycyny: Laboratoryjne probówki reakcyjne wysokotemperaturowe, probówki do obserwacji biomedycznych, tuby do pakowania urządzeń MEMS, probówki z okienkiem do wykrywania promieniowania jądrowego

Kontrola jakości

Ustanowiono kompleksowy system kontroli jakości półprzewodników. Każda tuba szafirowa przechodzi rygorystyczną wielowymiarową kontrolę i może zostać dostarczony kompletny Certyfikat Analizy (COA). Podstawowe elementy kontroli obejmują: kontrolę średnicy wewnętrznej/zewnętrznej i grubości ścianki, dokładność wymiarową, kalibrację współosiowości i prostoliniowości, badanie defektów wizualnych całej tuby (zarysowania, odpryski na krawędziach, pęcherzyki, zanieczyszczenia), kontrolę chropowatości i wykończenia powierzchni, badanie odporności na ciśnienie i szczelności, kontrolę pobierania próbek przepuszczalności optycznej, weryfikację czystości i bezpyłowego opakowania, zapewnienie dokładnych parametrów produktu i stabilnego działania spełniającego wymagania s

rygorystyczne wymagania wysokiej klasy scenariuszy badań przemysłowych i naukowych.

Powiązane produkty

定制蓝宝石材料,晶圆,窗户,杆及精密组件

用于的光学玻璃蓝宝石基板 2英寸 0.1毫米 0.175毫米厚度晶圆