Tuby aplikatora szafirowego to specjalistyczne komponenty używane w półprzewodnikowych urządzeniach plazmowych i procesowych, gdzie tuba może być narażona na działanie energii mikrofalowej lub fal radiowych, reaktywnych gazów procesowych, podwyższonych temperatur i gatunków generowanych przez plazmę.

W zdalnych systemach plazmowych gaz procesowy może przepływać przez tubę aplikatora, podczas gdy energia mikrofalowa jest sprzęgana do obszaru aplikatora w celu wytworzenia reaktywnych gatunków plazmy. Szafir jest szczególnie odpowiedni do tego typu zastosowań ze względu na połączenie stabilności termicznej, izolacji elektrycznej, odporności chemicznej i charakterystyki transmisji mikrofalowej/radiowej.

Nasze tuby aplikatora szafirowego mogą być dostarczane jako pojedyncze tuby lub jako kompletne zespoły zawierające precyzyjne metalowe obudowy, złącza gwintowane, interfejsy uszczelniające i inne niestandardowe komponenty mechaniczne.

Pokazany tutaj produkt łączy precyzyjną tubę szafirową z obrobioną metalową konstrukcją montażową i jest przeznaczony do stosowania jako zamiennik lub niestandardowy komponent do półprzewodnikowych urządzeń procesowych.

Kluczowe cechy

Wysokiej czystości materiał szafirowy

Tuba aplikatora jest wykonana z syntetycznego szafiru, odpowiedniego do wymagających środowisk półprzewodnikowych urządzeń.

Szafir zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury, ekspozycję na plazmę i agresywne chemicznie warunki procesowe, zachowując jednocześnie wysoką wytrzymałość mechaniczną.

Nadaje się do zastosowań plazmowych

Tuby szafirowe są szeroko stosowane w zastosowaniach półprzewodnikowych, w tym jako tuby aplikatora plazmy, tuby do zatrzymywania plazmy, komponenty wtryskiwaczy gazu procesowego i powiązane systemy generowania plazmy.

Kompatybilność z mikrofalami i falami radiowymi

Szafir oferuje doskonałe właściwości dielektryczne i zdolność transmisji fal radiowych/mikrofalowych, co czyni go odpowiednim do komponentów umieszczonych w systemach generowania plazmy mikrofalowej lub zdalnej.

Precyzyjna produkcja tub

Wymiary tuby mogą być kontrolowane zgodnie z wymaganiami klienta, w tym:

• Średnica zewnętrzna
• Średnica wewnętrzna
• Grubość ścianki
• Długość całkowita
• Geometria końca
• Struktura ramienia
• Konstrukcja rowka
• Wykończenie powierzchni
• Interfejs montażowy

Zespół szafir + metal

Oprócz produkcji tub szafirowych, możemy dostarczyć zintegrowane zespoły zawierające obrobione komponenty metalowe.

Dostępne usługi mogą obejmować:

• Precyzyjna metalowa obudowa
• Gwinty zewnętrzne
• Wewnętrzne konstrukcje montażowe
• Tuleje mechaniczne
• Kołnierze
• Interfejsy uszczelniające
• Montaż szafir-metal
• Produkcja zespołów zamiennych

Niestandardowe części zamienne

Wspieramy niestandardowe części półprzewodnikowych urządzeń zgodnie z:

• Rysunki klienta
• Próbki oryginalne
• Wymiary urządzeń
• Specyfikacje istniejących komponentów
• Numery referencyjne OEM
• Wymagania inżynierii odwrotnej

Dzięki temu produkt nadaje się do projektów konserwacji, wymiany i lokalizacji półprzewodnikowych urządzeń.

Typowe zastosowania

Tuby aplikatora szafirowego mogą być używane w urządzeniach i procesach takich jak:

• Zdalne źródła plazmy
• Czyszczenie komór plazmowych
• Generowanie plazmy mikrofalowej
• Urządzenia CVD do półprzewodników
• Urządzenia PECVD
• Urządzenia HDP-CVD
• Urządzenia do trawienia plazmowego
• Systemy trawienia suchego
• Dostarczanie gazu procesowego
• Systemy aktywacji gazu plazmowego
• Części zamienne do półprzewodnikowych urządzeń

Tuby szafirowe są już komercyjnie stosowane do zastosowań jako aplikatory plazmy półprzewodnikowej, do zatrzymywania plazmy i jako wtryskiwacze gazu procesowego.

Specyfikacje produktu

Uwaga: Wymiary i konstrukcje montażowe są produkowane zgodnie z urządzeniem klienta, rysunkiem lub istniejącą próbką.

Dlaczego stosować szafir do tub aplikatora plazmy?

Tuba aplikatora znajduje się w jednym z bardziej wymagających obszarów systemu generowania plazmy.

W zależności od konstrukcji urządzenia, tuba może jednocześnie napotykać reaktywne gazy, energetyczne gatunki plazmy, energię mikrofalową i podwyższone temperatury.

W porównaniu z konwencjonalnymi materiałami szklanymi, szafir zapewnia połączenie:

• Odporność na wysokie temperatury
• Wysoka wytrzymałość mechaniczna
• Doskonała stabilność chemiczna
• Odporność na plazmę
• Dobre właściwości dielektryczne
• Transmisja mikrofalowa/radiowa
• Długi okres użytkowania w wymagających środowiskach procesowych

Z tego powodu szafir stał się ważnym materiałem inżynieryjnym do produkcji tub aplikatora plazmy i innych komponentów półprzewodnikowych urządzeń procesowych.

Niestandardowa produkcja tub aplikatora szafirowego

Produkujemy komponenty szafirowe do półprzewodnikowych urządzeń z naciskiem na zastosowania niestandardowe i zamienne.

Zamiast ograniczać klientów do standardowych wymiarów tub, możemy produkować części zgodnie z rzeczywistymi wymaganiami urządzeń procesowych.

Opcje dostosowywania obejmują:

Tuba szafirowa

• Średnica zewnętrzna i wewnętrzna
• Długość tuby
• Grubość ścianki
• Końce tuby
• Stopnie i ramiona
• Szczeliny i rowki
• Chropowatość powierzchni
• Wymagania dotyczące polerowania

Komponenty metalowe

• Wymiary obudowy
• Specyfikacje gwintów
• Interfejsy montażowe
• Kołnierze
• Tuleje
• Konstrukcje złączy

Montaż

Tuby szafirowe mogą być również dostarczane z odpowiednimi komponentami metalowymi jako zmontowana część półprzewodnikowego urządzenia.

Usługa wymiany i inżynierii odwrotnej

W przypadku wycofanych z produkcji, trudnych do zdobycia lub niestandardowych części półprzewodnikowych urządzeń, klienci mogą wysłać nam:

1. Numer części oryginalnego urządzenia
2. Rysunek techniczny
3. Zdjęcia
4. Używana lub nowa próbka
5. Krytyczne wymiary
6. Model urządzenia
7. Informacje o zastosowaniu

Nasz zespół inżynierów może ocenić konstrukcję i wykonalność produkcji przed wyceną.

W przypadku części produkowanych jako alternatywy dla istniejących komponentów urządzeń, ostateczna kompatybilność powinna być zawsze potwierdzona na podstawie konfiguracji urządzenia klienta i specyfikacji technicznych.

Kontrola jakości

W zależności od wymagań klienta, inspekcja może obejmować:

• Inspekcja wymiarowa
• Inspekcja średnicy zewnętrznej / wewnętrznej
• Pomiar grubości ścianki
• Inspekcja długości
• Inspekcja powierzchni
• Inspekcja gwintów
• Inspekcja montażu
• Inspekcja wad wizualnych
• Inspekcja opakowania

Raporty z inspekcji mogą być dostarczane zgodnie z wymaganiami projektu.

Jakie informacje należy przesłać do wyceny?

Aby przyspieszyć wycenę, prosimy o podanie:

• Rysunek produktu
• Średnica zewnętrzna tuby szafirowej
• Średnica wewnętrzna tuby szafirowej
• Długość tuby
• Grubość ścianki
• Wykończenie powierzchni
• Materiał metalowej obudowy
• Specyfikacje gwintów
• Marka/model urządzenia
• Numer części OEM, jeśli dostępny
• Wymagana ilość
• Zastosowanie lub środowisko procesowe

Jeśli rysunek nie jest dostępny, prosimy o przesłanie wyraźnych zdjęć i fizycznej próbki do oceny.

FAQ

Do czego służy tuba aplikatora szafirowego?

Tuba aplikatora szafirowego jest powszechnie stosowana w półprzewodnikowych urządzeniach plazmowych, szczególnie w systemach generowania plazmy, zdalnego czyszczenia plazmowego i aktywacji gazu procesowego.

Czy można wyprodukować kompletny zespół tuby aplikatora?

Tak. Oprócz tub szafirowych, niestandardowe metalowe obudowy, elementy gwintowane i zespoły mechaniczne mogą być produkowane zgodnie z rysunkami lub próbkami.

Czy można wyprodukować zamienniki istniejących części półprzewodnikowych urządzeń?

Tak. Wspieramy produkcję opartą na rysunkach i próbkach dla półprzewodnikowych komponentów zamiennych urządzeń. Klienci mogą dostarczyć numer referencyjny OEM, rysunek, próbkę i informacje o urządzeniu do oceny.

Czy wymiary tuby szafirowej można dostosować?

Tak. Średnica zewnętrzna, średnica wewnętrzna, długość, grubość ścianki, geometria końca tuby i wykończenie powierzchni mogą być dostosowane.

Czy oferujecie małe ilości?

Projekty prototypowe, konserwacyjne i małoseryjne półprzewodnikowych urządzeń mogą być oceniane zgodnie z wymaganymi wymiarami i trudnością produkcji.