|
|
| Nazwa marki: | ZMSH |
Podłoża przemysłowe 6H SiC do zastosowań w elektronice wysokotemperaturowej, UV i precyzyjnej
Przegląd produktu
Podłoża z węglika krzemu 6H (SiC) to wysokiej jakości płytki monokrystaliczne przeznaczone do zastosowań wysokotemperaturowych, wysokonapięciowych i specjalistycznych zastosowań optoelektronicznych. W przeciwieństwie do 4H SiC, 6H oferuje inny sześciokątny polityp z nieco niższą ruchliwością elektronów, ale doskonałą stabilnością termiczną, wytrzymałością mechaniczną i opłacalnością do zastosowań niszowych, takich jak diody UV LED, czujniki wysokiej temperatury i elektronika przemysłowa.
Kluczowe funkcje
Sześciokątna struktura kryształu 6H:Zapewnia stabilność wymiarową i wytrzymałość mechaniczną podczas obróbki płytek.
Właściwości elektryczne:Umiarkowana ruchliwość elektronów odpowiednia dla urządzeń wysokotemperaturowych i wysokonapięciowych; obsługuje mniejsze rozmiary urządzeń.
Przewodność cieplna (~390–450 W/m·K):Efektywne odprowadzanie ciepła w modułach mocy i w trudnych warunkach.
Wytrzymałość mechaniczna i odporność chemiczna:Wysoka twardość i odporność na korozję zapewniająca długoterminową niezawodność.
Opcje powierzchni Epi-Ready:Kompatybilny ze wzrostem epitaksjalnym, w tym wyżarzaniem wodorowym i polerowaniem CMP.
Konfigurowalne rozmiary i grubość:Dostępne w standardowych średnicach lub dostosowane do konkretnych potrzeb produkcyjnych.
Aplikacje
Wysokotemperaturowe urządzenia i czujniki półprzewodnikowe
Diody LED UV i specjalistyczna optoelektronika
Elektronika lotnicza i samochodowa narażona na ekstremalne warunki
Elektronika przemysłowa wymagająca kompaktowych i wytrzymałych komponentów
Badania i rozwój półprzewodników o szerokiej przerwie energetycznej
Dane techniczne (typowe i konfigurowalne)
| Parametr | Specyfikacja |
|---|---|
| Tworzywo | Monokrystaliczny 6H SiC |
| Struktura kryształu | Sześciokątny (6H) |
| Średnica / Rozmiar | 25 mm (2″), 50 mm (4″), 100 mm (4″), 150 mm (6″), 200 mm (8″), 300 mm (12″); dostępne rozmiary kwadratowe lub niestandardowe |
| Grubość | 350–1 000 µm (możliwość dostosowania) |
| Wykończenie powierzchni | Epi-ready CMP, polerowany obustronnie (DSP), polerowany jednostronnie (SSP) |
| Całkowita zmienność grubości (TTV) | typowo ≤5 µm |
| Łuk / Osnowa | ≤40 µm (typowo 6″) |
| Gęstość mikrorurki | Cel przemysłowy <0,1 cm⁻²; gatunki premium <0,01 cm⁻² |
| Gęstość dyslokacji | <10⁴ cm⁻² (docelowa wydajność wysokiego napięcia) |
| Przewodność | Opcje typu N (przewodzące), półizolacyjne (SI). |
| Gotowy na Epi | Tak – kompatybilny ze wzrostem epitaksjalnym |
Zalety podłoża kwadratowego
Czujniki wysokotemperaturowe i diody LED UV:Kwadratowe podłoża zapewniają precyzyjne ustawienie elektrod i podstaw opakowań.
Elektronika przemysłowa:Umożliwia kompaktową konstrukcję z wysoką integracją, redukując luki między opakowaniem a podłożem.
Obwody RF i mikrofalowe (opcja SI):Zmniejszona utrata sygnału w zastosowaniach o wysokiej częstotliwości.
Proces produkcyjny
Synteza proszku: Surowiec SiC o wysokiej czystości.
Zakładanie nasion: Nasiona 6H dołączone w ampułce wzrostowej.
Wzrost w wysokiej temperaturze: Sublimacja w temperaturze 2300–2500°C tworzy kulę SiC.
Krojenie: Piła diamentowa kroi wafle.
Polerowanie i kontrola: polerowanie CMP lub diamentem w celu uzyskania powierzchni gotowej do napawania; zapewniono metrologię i certyfikat analizy (CoA).
Kluczowe zastosowania i przypadki użycia
Elektronika wysokotemperaturowa i czujniki przemysłowe
Optoelektronika UV
Elektronika lotnicza i obronna w ekstremalnych warunkach
Kompaktowe urządzenia zasilające o wysokiej niezawodności dla rynków niszowych
Badania i rozwój oraz produkcja pilotażowa urządzeń półprzewodnikowych o szerokiej przerwie energetycznej
Często zadawane pytania
1. Czym podłoża 6H SiC różnią się od 4H?
6H SiC ma inny sześciokątny polityp, niższą ruchliwość elektronów i opłacalne zalety w zastosowaniach wysokotemperaturowych i specjalistycznych, podczas gdy 4H jest standardem dla szybkich i wydajnych urządzeń zasilających.
2.Czy 6H SiC może wytrzymać wysokie temperatury?
Tak, utrzymuje stabilność mechaniczną i elektryczną w ekstremalnych warunkach termicznych.
3. Czy podłoża 6H SiC można dostosowywać?
Tak, średnicę, grubość, wykończenie powierzchni i przewodność można dostosować do potrzeb badawczo-rozwojowych lub produkcyjnych.
4. W jakich branżach stosuje się podłoża 6H SiC?
Czujniki wysokotemperaturowe, diody LED UV, elektronika lotnicza, samochodowa i przemysłowa, które wymagają niezawodnej wydajności w ekstremalnych warunkach.
wideo
wideo
