| Nazwa marki: | zmsh |
Płytki SiC typu HPSI (High-Purity Semi-Isolating Silicon Carbide) są kluczowymi materiałami optycznymi w okularach AI i AR. Mają wysoki wskaźnik załamania (2,6 - 2,2).7 @ 400 - 800 nm) i niskie właściwości absorpcji optycznej, skutecznie rozwiązują problemy takie jak "efekty tęczy" i niewystarczająca przepuszczalność światła, które są powszechne w tradycyjnych materiałach ze szkła lub żywicy stosowanych do przewodników fal AR.Okulary AR Orion firmy Meta wykorzystują soczewki HPSI SiC, osiągając ultra szerokie pole widzenia (FOV) 70° - 80° przy jednowarstwowej soczewce o grubości zaledwie 0,55 mm i masie 2,7 g, znacząco zwiększając komfort noszenia i zanurzenie.
![]()
![]()
| Parametry | Klasa | 4-calowy podłoże | 6-calowy podłoż |
|---|---|---|---|
| Średnica | Klasa Z / Klasa D | 990,5 mm - 100,0 mm | 149.5 mm - 150,0 mm |
| Politykowe | Klasa Z / Klasa D | 4H | 4H |
| Gęstość | Klasa Z | 500 μm ± 15 μm | 500 μm ± 15 μm |
| Klasa D | 500 μm ± 25 μm | 500 μm ± 25 μm | |
| Orientacja płytki | Klasa Z / Klasa D | Na osi: <0001> ± 0,5° | Na osi: <0001> ± 0,5° |
| Gęstość mikroturbin | Klasa Z | ≤ 1 cm2 | ≤ 1 cm2 |
| Klasa D | ≤ 15 cm2 | ≤ 15 cm2 | |
| Odporność | Klasa Z | ≥ 1E10 Ω·cm | ≥ 1E10 Ω·cm |
| Klasa D | ≥ 1E5 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm | |
| Główna orientacja płaska | Klasa Z / Klasa D | (10-10) ± 5,0° | (10-10) ± 5,0° |
| Pierwsza płaska długość | Klasa Z / Klasa D | 32.5 mm ± 2,0 mm | Wylęg |
| Dalsza płaska długość | Klasa Z / Klasa D | 180,0 mm ± 2,0 mm | - |
| Wyłączenie krawędzi | Klasa Z / Klasa D | 3 mm | 3 mm |
| LTV / TTV / Bow / Warp | Klasa Z | ≤ 2,5 μm / ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 30 μm | ≤ 2,5 μm / ≤ 6 μm / ≤ 25 μm / ≤ 35 μm |
| Klasa D | ≤ 10 μm / ≤ 15 μm / ≤ 25 μm / ≤ 40 μm | ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 80 μm | |
| Węglowodany | Klasa Z | Polski Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polski Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm |
| Klasa D | Polski Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polski Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,5 nm | |
| Pęknięcia krawędzi | Klasa D | Łączna powierzchnia ≤ 0,1% | Długość kumulacyjna ≤ 20 mm, pojedyncza ≤ 2 mm |
| Politypowe obszary | Klasa D | Łączna powierzchnia ≤ 0,3% | Powierzchnia kumulacyjna ≤ 3% |
| Włączenia wizualne węgla | Klasa Z | Powierzchnia kumulacyjna ≤ 0,05% | Powierzchnia kumulacyjna ≤ 0,05% |
| Klasa D | Łączna powierzchnia ≤ 0,3% | Powierzchnia kumulacyjna ≤ 3% | |
| Zarysowania na powierzchni krzemu | Klasa D | 5 dozwolone, każde ≤1 mm | Łączna długość ≤ 1 x średnica |
| Chipsy Edge | Klasa Z | Brak dozwolonych (szerokość i głębokość ≥ 0,2 mm) | Brak dozwolonych (szerokość i głębokość ≥ 0,2 mm) |
| Klasa D | 7 dozwolone, każde ≤1 mm | 7 dozwolone, każde ≤1 mm | |
| Zwichnięcie śruby przędzającej | Klasa Z | - | ≤ 500 cm2 |
| Opakowanie | Klasa Z / Klasa D | Kaseta z wieloma płytkami lub pojemnik z jedną płytką | Kaseta z wieloma płytkami lub pojemnik z jedną płytką |
Jako zintegrowany podmiot produkcyjny i handlowy ZMSH dostarcza kompleksowe rozwiązania dla produktów SiC:
Wewnętrzne piece do wzrostu kryształów produkują płytki typu 4H-N, 4H-HPSI, 6H-P i 3C-N (2-12 cali), z dostosowalnymi parametrami (np. stężenie dopingu, wytrzymałość na gięcie).
P1: Dlaczego HPSI SiC Wafer jest krytyczny dla okularów AR?
A1: Wysoki wskaźnik załamania HPSI SiC Wafer (2,6 - 2,7) i niska absorpcja optyczna eliminują efekty tęczy w wyświetlaczach AR, umożliwiając jednocześnie ultracienkie przewodniki fal (np. soczewki Meta Orion o średnicy 0,55 mm).
P2: Czym HPSI SiC różni się od tradycyjnego szkła w optyce AR?
A2: HPSI SiC oferuje dwukrotnie wyższy wskaźnik załamania szkła (~ 2,0), umożliwiając szerszy FOV i jednopoziomowe przewodniki fal, a także przewodność cieplną 490 W/m·K do zarządzania ciepłem z Micro LED.
P3: Czy HPSI SiC jest zgodny z innymi materiałami półprzewodnikowymi?
A3: Tak, integruje się z GaN i krzemu w systemach hybrydowych, ale jego stabilność termiczna i właściwości dielektryczne sprawiają, że jest lepszy w optyce AR o dużej mocy.
![]()