Kaseta na wafery 1 cal średnicy 16 mm, pojemność 25 sztuk

Kaseta na wafle 1-calowe to specjalistyczny pojemnik przeznaczony do bezpiecznego obchodzenia się, transportu i przechowywania wafli półprzewodnikowych o małej średnicy (1 cal). Jego główną rolą jest zapewnienie ochrony fizycznej, izolacji środowiskowej i kompatybilności ze zautomatyzowanymi systemami, zapewniając integralność wafli i wydajność procesów w całym procesie produkcji półprzewodników.

 Kluczowe cechy kasety na wafle 1 cal

1. Zwiększona ochrona fizyczna

• Ochrona przed wyładowaniami elektrostatycznymi (ESD): Kaseta na wafle 1 cal wykorzystuje materiały bezpieczne dla ESD (np. powłoki przewodzące, fluoropolimery) do ochrony wafli przed uszkodzeniami elektrostatycznymi.
• Amortyzacja wstrząsów: Silikonowe podkładki lub gumowane wkładki w rowkach tłumią wibracje i pochłaniają uderzenia, co jest krytyczne dla delikatnych wafli 1-calowych.

2. Kontrola środowiska

• Szczelna konstrukcja: Kaseta na wafle 1 cal zapobiega zanieczyszczeniom kurzem, wilgocią i oparami chemicznymi. Niektóre warianty obsługują środowiska próżniowe lub gazu obojętnego (np. przedmuchiwanie azotem) dla wrażliwych procesów, takich jak litografia lub wytrawianie.
• Odporność na temperaturę: Kaseta na wafle 1 cal działa niezawodnie w szerokim zakresie temperatur (-20°C do 150°C), uwzględniając wymagania dotyczące wyżarzania w wysokiej temperaturze lub przechowywania w niskiej temperaturze.

3.  Funkcje gotowe do automatyzacji

• Znormalizowane interfejsy: Górne gniazda chwytaków mechanicznych lub kołki wyrównujące umożliwiają precyzyjne dokowanie z ramionami robota i systemami EFEM.
• Blokady pozycjonowania: Magnetyczne lub mechaniczne zatrzaski zapewniają bezpieczne wyrównanie wafli podczas zautomatyzowanych transferów, unikając awarii sprzętu spowodowanych niewspółosiowością.

4. Efektywność kosztowa

• Lekka konstrukcja zoptymalizowana pod kątem wafli 1-calowych zmniejsza koszty materiałów przy jednoczesnym zachowaniu trwałości, idealna do badań i rozwoju oraz produkcji małoseryjnej.

Główne zastosowania kasety na wafle 1 cal

Powiązane zalecenia dotyczące kaset na wafle

1.  Kaseta na pojedynczy wafelek 1 cal, 2 cale, 3 cale, 4 cale, 6 cali