Kaseta na wafle 1 cal, średnica 16 mm, pojemność 25 sztuk do transportu wafli
Kaseta na wafle 1-calowe to specjalistyczny pojemnik przeznaczony do bezpiecznego obchodzenia się, transportu i przechowywania wafli półprzewodnikowych o małej średnicy (1 cal). Jego główną rolą jest zapewnienie ochrony fizycznej, izolacji środowiskowej i kompatybilności ze zautomatyzowanymi systemami, zapewniając integralność wafli i wydajność procesów w całym procesie produkcji półprzewodników.
Główne komponenty i konstrukcja kasety na wafle 1 cal
1. Konstrukcja
- Kaseta na wafle 1 cal wykonana z metali o wysokiej wytrzymałości (np. stali nierdzewnej) lub odpornych na korozję tworzyw konstrukcyjnych (np. PEEK, PTFE).
- Zawiera precyzyjnie zaprojektowane szczeliny lub stałe rowki dostosowane do wafli 1-calowych, minimalizując naprężenia mechaniczne i zapobiegając ślizganiu się lub ścieraniu wafli podczas transportu.
2. Znormalizowana kompatybilność
- Kaseta na wafle 1 cal przestrzega standardów wymiarowych branży półprzewodników (np. standardów SEMI), umożliwiając bezproblemową integrację ze zautomatyzowanym sprzętem, takim jak ramiona robota, systemy przenośników i moduły front-end sprzętu (EFEM).
- Zoptymalizowana pod kątem kompatybilności z AMHS (Automated Material Handling Systems) i interfejsami podów na wafle.
3. Integracja funkcjonalna
- Zaawansowane modele zawierają tagi lub czujniki do śledzenia w czasie rzeczywistym partii wafli, statusu procesu i danych o lokalizacji.
Kluczowe cechy kasety na wafle 1 cal
1. Zwiększona ochrona fizyczna
- Ochrona przed wyładowaniami elektrostatycznymi (ESD): Kaseta na wafle 1 cal wykorzystuje materiały bezpieczne dla ESD (np. powłoki przewodzące, fluoropolimery) do ochrony wafli przed uszkodzeniami elektrostatycznymi.
- Amortyzacja wstrząsów: Silikonowe podkładki lub gumowane wkładki w rowkach tłumią wibracje i pochłaniają uderzenia, co jest krytyczne dla delikatnych wafli 1-calowych.
2. Kontrola środowiska
- Szczelna konstrukcja: Kaseta na wafle 1 cal zapobiega zanieczyszczeniom kurzem, wilgocią i oparami chemicznymi. Niektóre warianty obsługują środowiska próżniowe lub gazu obojętnego (np. przedmuchiwanie azotem) dla wrażliwych procesów, takich jak litografia lub wytrawianie.
- Odporność na temperaturę: Kaseta na wafle 1 cal działa niezawodnie w szerokim zakresie temperatur (-20°C do 150°C), uwzględniając wymagania dotyczące wyżarzania w wysokiej temperaturze lub przechowywania w niskiej temperaturze.
3. Funkcje gotowe do automatyzacji
- Znormalizowane interfejsy: Górne gniazda chwytaków mechanicznych lub kołki wyrównujące umożliwiają precyzyjne dokowanie z ramionami robota i systemami EFEM.
- Blokady pozycjonowania: Magnetyczne lub mechaniczne zatrzaski zapewniają bezpieczne wyrównanie wafli podczas zautomatyzowanych transferów, unikając awarii sprzętu spowodowanych niewspółosiowością.
4. Efektywność kosztowa
- Lekka konstrukcja zoptymalizowana pod kątem wafli 1-calowych zmniejsza koszty materiałów przy jednoczesnym zachowaniu trwałości, idealna do badań i rozwoju oraz produkcji małoseryjnej.
Główne zastosowania kasety na wafle 1 cal
1. Badania i rozwój półprzewodników oraz prototypowanie
- Kaseta na wafle 1 cal ułatwia walidację procesów w laboratoriach lub liniach pilotażowych dla zaawansowanych technologii, takich jak MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) i czujniki.
- Kaseta na wafle 1 cal obsługuje krytyczne kroki, takie jak fotolitografia, implantacja jonów i wytrawianie na sucho.
2. Specjalistyczna integracja procesów
- Procesy czyszczenia na mokro: Kaseta na wafle 1 cal jest odporna na korozję chemiczną podczas obróbki SC1 (Standard Cleaning 1) lub SC2 (Standard Cleaning 2).
- Procesy wysokotemperaturowe: Warianty kaset metalowych wytrzymują naprężenia termiczne w piecach do wyżarzania lub dyfuzji.
3. Zautomatyzowane linie produkcyjne
- Kasety usprawniają śledzenie partii i synchronizację sprzętu, optymalizując harmonogram produkcji.
4. Edukacja i kontrola jakości
- Kaseta na wafle 1 cal używana w środowiskach akademickich do demonstracji protokołów cięcia, pakowania i obsługi wafli.
- Kaseta na wafle 1 cal służy jako precyzyjny nośnik dla zautomatyzowanych systemów inspekcji wafli, zapewniając dokładność pozycjonowania podczas analizy defektów.
Powiązane zalecenia dotyczące kaset na wafle
1. Kaseta na pojedynczy wafelek 1 cal, 2 cale, 3 cale, 4 cale, 6 cali
Pytania i odpowiedzi dotyczące kasety na wafle 1 cal
1. P: Jakie są główne zalety konstrukcyjne kaset na wafle 1-calowe?
O: Znormalizowane wymiary (np. 25 wafli na kasetę) optymalizują kompatybilność sprzętu i wydajność zautomatyzowanego przetwarzania, minimalizując jednocześnie ryzyko uszkodzenia wafli.
2. P: Jakie są typowe scenariusze zastosowań kaset na wafle 1-calowe w produkcji półprzewodników?
O: Są one wykorzystywane do przechowywania wafli w fabrykach półprzewodników, transferu między urządzeniami i znormalizowanej obsługi materiałów na wszystkich etapach procesu.
Tagi: #Kaseta na wafle 1 cal, #Uchwyt na kasetę na wafle, #Średnica 16 mm, #Pojemność 25 sztuk, #Kompatybilny z pomieszczeniami czystymi klasy 100, #Transport wafli
Twoja wiadomość musi mieć od 20 do 3000 znaków!
