Kaseta na pojedynczą wafle 1 cal dla bezpiecznego przechowywania wafli ESD

1 cali kaseta jednopłytkowa do bezpiecznego przechowywania płytek ESD

Kaseta płytkowa o średnicy 1 cala jest specjalnym pojemnikiem zaprojektowanym do przechowywania, transportu i automatycznej obsługi płytek o średnicy 1 cala (25,4 mm) w produkcji półprzewodników, urządzeń optoelektronicznych,i badania i rozwój mikroelektronikiWykonany z polimerów o wysokiej czystości (takich jak PEEK lub PVDF) lub materiałów antystatycznych, zapewnia ochronę płytki przed zanieczyszczeniem, uszkodzeniami elektrostatycznymi,i wpływ fizyczny w środowisku pomieszczeń czystegoKaseta jest zgodna ze standardami SEMI i nadaje się do zautomatyzowanych systemów transferu płytek w procesach, w tym MOCVD, PECVD, litografii i etsu.

Kaseta Wafer 1 caliKluczowe cechy

1Ultra-czyste działanie:

• Kaseta Wafer o średnicy 1 cala certyfikowana do czystych pomieszczeń klasy 100 o bardzo niskiej produkcji cząstek (< 5 cząstek/ft3 dla > 0,1 μm)

• Gładkie wykończenie powierzchni zapobiega zadrapania płytki

2. Ochrona ESD:

• Włókno węglowe wzmocnione lub powłoka antystatyczna o oporności powierzchniowej 106-109Ω/kw

• Kaseta Wafer 1 Inch skutecznie zapobiega przyciąganiu cząstek i uszkodzeniu przez rozładowanie elektrostatyczne

3Niezawodność mechaniczna:

• Odporność na wysokie temperatury (do 150°C) i chemikalia (przeciwko kwasom, kwasom alkalicznym i rozpuszczalnikom organicznym)

• Kasseta Wafer 1 Inch testowana na wibracje zgodna z konstrukcją dla bezpiecznego transportu

4Kompatybilność z automatyzacją:

• Standaryzowane interfejsy 1 Inch Wafer Cassette (kompatybilne z SMIF/FOUP) do obsługi przez roboty

• Kompatybilne z głównymi urządzeniami półprzewodnikowymi (ASML, Materiały stosowane itp.)

5Precyzyjna ochrona płytek:

• Dokładność odchylenia śluzu kasety waferów o średnicy 1 cala ± 0,1 mm z błędem pozycjonowania waferów ≤ 0,05 mm

• Opcjonalne gniazda tagów RFID do identyfikowania płytek