- Nie.
Niestandardowe 2c, 3c, 4c, 6c, 8c, 12c płytki kwarcowe
Wafle kwarcowe to precyzyjne podłoże wykonane z wysokiej czystości syntetycznych materiałów kwarcowych, szeroko stosowanych w półprzewodnikach, optoelektroniki, optyce i systemach mikroelektromechanicznych (MEMS). ZMSH specjalizuje się w badaniach i rozwoju oraz produkcji materiałów półprzewodnikowych kwarcowych, oferując produkty takie jak płytki kwarcowe, okna optyczne kwarcowe, rurki kwarcowe i łodzie kwarcowe,z płytkami kwarcowymi jako podstawową linią produktów. Zapewniamy dostosowalne rozwiązania dla płytek od 2 do 12 cali, spełniające specyficzne wymagania w zakresie wymiarów, grubości i obróbki powierzchni (polerowanie, powłoka itp.).
ZMSH oferuje dostępność w magazynie i usługi obróbki na zamówienie, zapewniając wysoką precyzję (np. TTV ≤5μm), doskonałą płaskość (Ra ≤1nm),i doskonałą odporność na wysokie temperatury (punkt zmiękczenia do 1730°C). Nasze produkty są szeroko stosowane w produkcji półprzewodników, technologii fotomaski, czujnikach i systemach laserowych.
Danedo płytek kwarcowych o pojemności 2-12 cali
| Wielkość |
Calowanie |
2 cali. |
3 cali. |
4 cali. |
6 cali. |
8 cali. |
12 cali. |
|
Średnica
|
mm |
50.8 |
76.2 |
100 |
150 |
200 |
300 |
| Tolerancja (±) |
mm |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
| Gęstość |
μm |
100 i więcej |
100 i więcej |
100 i więcej |
300 i więcej |
400 i więcej |
500 i więcej |
| Podstawowa płaszczyzna odniesienia |
mm |
32.5 |
32.5 |
32.5 |
57.5 |
Pozostałe |
Pozostałe |
| LTV (5mmx5mm) |
μm |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
| TTV |
μm |
< 2 |
< 2 |
< 2 |
< 3 |
(3) |
< 5 |
| Pochyl się |
μm |
± 20 |
± 20 |
± 20 |
± 30 |
± 40 |
± 40 |
| Warp. |
μm |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 40 |
≤ 50 |
≤ 50 |
| PLTV ((5mm*5mm) < 0,4um |
% |
≥ 95% |
≥ 95% |
≥ 95% |
≥ 95% |
≥ 95% |
≥ 95% |
| Zaokrąglenie krawędzi |
mm |
SZEMI STD. |
SZEMI STD. |
SZEMI STD. |
SZEMI STD. |
SZEMI STD. |
SZEMI STD. |
| Rodzaj powierzchni |
|
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
| Bruki powierzchni |
nm |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
≤ 1 |
Główne cechyod 2 do 12wafel kwarcowy
Główne właściwości płytek kwarcowych obejmują:
-
1Materiał o wysokiej czystości: Kwarc syntetyczny (np. Suprasil lub Corning 7980) o czystości SiO2 ≥ 99,99%, minimalizujący zanieczyszczenia w procesach półprzewodnikowych.
-
-
2Stabilność termiczna: Niski współczynnik rozszerzenia termicznego (5,5×10−7/°C), odporny na temperatury przekraczające 1000°C w ekstremalnych warunkach.
-
-
3Wydajność optyczna: Wysoka przepuszczalność z fal UV do IR (np. > 90% w głębokim UV), idealna do litografii i zastosowań laserowych.
-
-
4Precyzja powierzchni: Polerowanie ultra precyzyjne o grubości powierzchni (Ra) ≤ 0,5 nm i całkowitej zmienności grubości (TTV) ≤ 5 μm.
-
-
5. Zakres wielkości: Standardowe rozmiary z2-calowy, 4-calowy, 6-calowy, 8-calowy do 12-calowy, z obsługą specyfikacji niestandardowych.
-
-
6. Chemiczna bezwładność: Odporny na silne kwasy (z wyjątkiem HF), zasadowości i etyki plazmowe, odpowiedni do procesów półprzewodnikowych.
-
Obszary aplikacji- Nie.od 2 do 12wafel kwarcowy
Płytki kwarcowe odgrywają kluczową rolę w sektorach zaawansowanych technologii, jak szczegółowo opisano poniżej:
| Obszar zastosowania |
Specyficzne zastosowania |
Zalety płytek kwarcowych |
| Produkcja półprzewodników |
- Substraty fotomaski
- Nośniki do procesu etsu
- Płyty do polerowania CMP
- płytki do czasowego łączenia |
Wysoka płaskość, niskie rozszerzenie termiczne, odporność na korozję plazmy |
| Urządzenia optoelektroniczne |
- Okna laserowe.
- Substraty filtrów optycznych
- Substraty czujników IR
- Opakowanie fotodetektorów |
Wysoka przepuszczalność UV-IR, niska strata wchłaniania |
| MEMS/NEMS |
- warstwy strukturalne MEMS
- Precyzyjne diafragmy czujników
- szablony nanoodcisków |
Ultragładka powierzchnia, wysoka sztywność, stabilność chemiczna |
| Urządzenia 5G i RF |
- Substraty filtrów SAW/BAW
- Bazy anten wysokiej częstotliwości
- Resonatory dielektryczne mikrofalowe |
Niska utrata dielektryczna, stabilna wydajność sygnału wysokiej częstotliwości |
| Badania i optyka |
- Synchrotron promieniowania optycznego
- Okna dyfrakcji rentgenowskiej
- Wysokiej mocy lusterka laserowe |
Odporność na promieniowanie, wysoki próg uszkodzenia lasera |
| Nowa energia |
- substraty powłoki ogniw fotowoltaicznych
- warstwy elektrolitów ogniw paliwowych
- Badania nad separatorem baterii litowej |
Odporność na wysokie temperatury, zapobieganie migracji jonów |
ZMSH Usługi specjalistyczne 2-12 cali płytki kwarcowej
Kompleksowe rozwiązania dla płytek kwarcowych: ZMSH zapewnia niestandardową produkcję płytek kwarcowych (2"-12" rozmiarów standardowych / niestandardowych) z precyzyjną obróbką (polerowanie, powlekanie itp.) wykorzystując materiały o wysokiej czystości (silika stopiona UV, kwarc o niskiej zawartości OH). Nasze usługi obejmują zapasowe płytki 4"/6"/8", produkty pomocnicze (okna optyczne, rurki kwarcowe), pełną certyfikację testową oraz wsparcie techniczne w zakresie doboru materiałów i optymalizacji procesów.
Częste pytaniaod 2 do 12wafel kwarcowy
Twoja wiadomość musi mieć od 20 do 3000 znaków!
