- Nie.
4calowa płytka kwarcowa o średnicy 100 mm płytka krzemionka stopiona do produkcji półprzewodników
4-calowa płytka kwarcowa (100 mm) to wielkoformatowy, ultra-wysokiej czystości podłoże krzemu stopionego przeznaczony do zastosowań o wysokiej precyzji i wysokiej stabilności w półprzewodnikach, optoelektronikach,i zaawansowanej optykiW porównaniu z 3-calowymi płytkami, 4-calowa specyfikacja oferuje znacznie większą powierzchnię użytkową, zwiększając efektywność produkcji, zwłaszcza w przypadku produkcji serii fotomasek IC,optyka laserowa o dużej mocy, i czujniki MEMS.
ZMSHspecjalizuje się w badaniach i rozwoju oraz produkcji płytek kwarcowych o średnicy 4 cali i większej, oferując:
- Dostosowanie w pełnym rozmiarze: Wspiera płytki o rozmiarze 4", 6" i 8", dostępne w rozmiarach niestandardowych (np. kwadratowych, w kształcie sektora).
- Wysokiej precyzji obróbki: Obejmuje podwójne ultrapolerowanie (Ra≤0,5 nm), laserowe wycinanie (tolerancja ±0,01 mm) oraz mikro-dziury/specjalne kształty poprzez wiercenie.
- Leczenie funkcjonalne: powłoki antyrefleksyjne (AR), antyrefleksyjne IR, powłoki węglowe podobne do diamentu (DLC) i inne.
- Rozwiązania klasy przemysłowej: czystość na poziomie półprzewodnika (klasa 10), niska gęstość wad (≤0,1/cm2), idealna do litografii EUV i obliczeń kwantowych.
Specyfikacja4-calowa płytka kwarcowa
| Termin techniczny |
Specyfikacja |
| Średnica |
4 cali (100 mm) |
| Zakres grubości |
0.5mm~1.5mm |
| Zmiana powierzchniowa |
≤ 0,5 nm |
| Przepuszczalność @193nm |
> 93% |
| CTE (20-300°C) |
00,55×10−6/°C |
| Równoległość |
≤ 3 μm |
| Kompatybilność pod próżnią |
10−10 Torr |
Kluczowe cechy z4-calowa płytka kwarcowa
1Duża precyzja: TTV≤10μm przy średnicy 100 mm zapewnia jednolitość procesu.
2Ultra niskie CTE: 0,55×10−6/°C, nadaje się do procesów o wysokiej temperaturze (np. grzanie, implantowanie jonów).
3Przejrzystość szerokopasmowa: przepuszczalność > 93% @ 193nm (DUV), > 90% @ 3-5μm (IR).
4. Wyższa jakość powierzchni: Dwukrotnie wypolerowane z Ra≤0,5 nm do litografii w nanoskali.
5. Zwiększona trwałość: Opcjonalne wzmocnienie chemiczne zwiększa wytrzymałość gięcia do 600 MPa; odporne na plazmę.
- Nie.Strategiczne zastosowania z4-calowa płytka kwarcowa
| Powierzchnia |
Wnioski |
| Półprzewodnik |
Optyka litograficzna EUV, podłoże fotomaski, interpozatory 3D NAND |
| Lasery o dużej mocy |
Lustra laserowe, siatki kompresyjne pulsowe, czapki końcowe laserowe |
| Technologia kwantowa |
Nośniki chipów Qubit, widoki z zimnymi atomami, substraty detektorów jednofotonowych |
| Powietrzno-kosmiczne |
Soczewki satelitarne, okna czujników odpornych na promieniowanie, detektory cząstek stałych |
| Biomedyczne |
Chipy do sekwencjonowania DNA, optyka endoskopowa, formy urządzeń mikrofluidowych |
- Nie.
Usługi personalizacji
ZMSH zapewniadostosowanie końca do końca dla 4-calowych płytek kwarcowych, w tym:
- Wybór materiału: JGS1/JGS2 krzemionka stopiona UV lub IR.
- Obróbka precyzyjna: polerowanie w nanoskali (λ/20), mikrostrukturyzacja laserowa (dokładność ± 1 μm).
- powłoki funkcjonalne: AR (193-1064nm), powłoki laserowe o wysokiej zawartości LIDT (> 5J/cm2).
- Wsparcie QA: Pełne sprawozdania z inspekcji (AOI, interferometria).
Częste pytania
- Nie.
Twoja wiadomość musi mieć od 20 do 3000 znaków!
