3 cali podłoża kwarcowego wysokiej czystości stopione płytki krzemianowe 76,2 mm średnica JGS1/JGS2

3-calowa podłoże kwarcowe, wysokiej czystości, z topionego kwarcu, o średnicy 76,2 mm, JGS1/JGS2

​3-calowa płytka kwarcowa (76,2 mm) to wielkoformatowe podłoże z wysokiej czystości topionego kwarcu, specjalnie zaprojektowane do zaawansowanych zastosowań w półprzewodnikach, optoelektronice i precyzyjnych zastosowaniach optycznych, wymagających większych obszarów przetwarzania. W porównaniu do 2-calowych płytek, specyfikacja 3-calowa zwiększa wydajność produkcji i zmniejsza straty na krawędziach, co czyni ją szczególnie odpowiednią dla produkowanych seryjnie urządzeń MEMS, zaawansowanych fotomasek i systemów optycznych laserów.

ZMSH specjalizuje się w produkcji na zamówienie płytek kwarcowych o dużych rozmiarach, oferując:

· Pełne pokrycie rozmiarów: Od płytek 2-calowych do 12-calowych, wspierając dostosowywanie rozmiarów niestandardowych

· Przetwarzanie o złożonych kształtach: Płytki okrągłe, płyty kwadratowe i cięcia o specjalnych kształtach (np. w kształcie sektora, D-cut)

· Wielofunkcyjna obróbka powierzchni: Polerowanie jednostronne/dwustronne, powłoki (AR/IR/DLC), wytrawianie mikrostruktury

· Rozwiązania branżowe: Czystość klasy półprzewodnikowej (klasa 100), wiercenie laserowe, znaki wyrównania o wysokiej precyzji

Specyfikacja dlaKonkretne zastosowania

​​Kluczowe cechy​​ ObszarKonkretne zastosowania

: TTV≤15μm przy średnicy 76,2 mm zapewnia jednolitość procesu na dużych obszarach- Optymalizacja dla głębokiego UV

: >92% transmisji przy 193nm, wspierając litografię ArF i zastosowania laserów DUV- Odporność na szok termiczny

: Współczynnik rozszerzalności cieplnej 0,55×10⁻⁶/°C, wytrzymuje szybkie cykle temperaturowe (1000°C/min)- Chemiczna obojętność

: Odporność na erozję plazmową, odpowiednia do wytrawiania na sucho i środowisk CMP- Wzmocnienie mechaniczne

: Opcjonalne wzmocnienie chemiczne zwiększa wytrzymałość na zginanie o 300% do 500MPa​​Główne zastosowania​​

3-calowej płytki kwarcowej ObszarKonkretne zastosowania

· Dokładność powierzchni na poziomie nanometrów

(λ/10@632.8nm)

· Powłoki specjalne (powłoki odporne na uszkodzenia laserowe, powłoki polaryzacyjne dzielące wiązkę)

· Zintegrowane przetwarzanie (struktury hybrydowe pryzmat-płytka, konstrukcje chłodzenia mikrokanalikowego)

Idealne do najnowocześniejszych zastosowań w kształtowaniu wiązki laserowej, analizie spektralnej i eksperymentach z fizyki wysokich energii.FAQ

1. P: Jakie są zalety 3-calowych płytek kwarcowych w porównaniu do mniejszych rozmiarów?O: 3-calowe (76,2 mm) płytki kwarcowe zapewniają o 44% większą powierzchnię użytkową niż płytki 2-calowe, zmniejszając straty na krawędziach i zwiększając przepustowość w produkcji MEMS i procesach powlekania optycznego.