|
| Nazwa marki: | ZMSH |
| Numer modelu: | 3 cali płytki kwarcowe |
| MOQ: | 10 |
| Cena £: | by case |
| Czas dostawy: | 5-8 tygodni |
| Warunki płatności: | T/T |
3-calowa płytka kwarcowa (76,2 mm) to wielkoformatowe podłoże z wysokiej czystości topionego kwarcu, specjalnie zaprojektowane do zaawansowanych zastosowań w półprzewodnikach, optoelektronice i precyzyjnych zastosowaniach optycznych, wymagających większych obszarów przetwarzania. W porównaniu do 2-calowych płytek, specyfikacja 3-calowa zwiększa wydajność produkcji i zmniejsza straty na krawędziach, co czyni ją szczególnie odpowiednią dla produkowanych seryjnie urządzeń MEMS, zaawansowanych fotomasek i systemów optycznych laserów.
ZMSH specjalizuje się w produkcji na zamówienie płytek kwarcowych o dużych rozmiarach, oferując:
· Pełne pokrycie rozmiarów: Od płytek 2-calowych do 12-calowych, wspierając dostosowywanie rozmiarów niestandardowych
· Przetwarzanie o złożonych kształtach: Płytki okrągłe, płyty kwadratowe i cięcia o specjalnych kształtach (np. w kształcie sektora, D-cut)
· Wielofunkcyjna obróbka powierzchni: Polerowanie jednostronne/dwustronne, powłoki (AR/IR/DLC), wytrawianie mikrostruktury
· Rozwiązania branżowe: Czystość klasy półprzewodnikowej (klasa 100), wiercenie laserowe, znaki wyrównania o wysokiej precyzji
| Parametr | Specyfikacja |
| Średnica | 3 cale (76,2 mm) |
| Tolerancja grubości | ±0,02 mm |
| Chropowatość powierzchni | ≤1nm (klasa polerowana) |
| Transmisja @193nm | >92% |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej (RT-300°C) | 0,55×10⁻⁶/°C |
| Równoległość | ≤5μm |
| Kompatybilność z próżnią | 10⁻⁹ Torr |
: TTV≤15μm przy średnicy 76,2 mm zapewnia jednolitość procesu na dużych obszarach- Optymalizacja dla głębokiego UV
: >92% transmisji przy 193nm, wspierając litografię ArF i zastosowania laserów DUV- Odporność na szok termiczny
: Współczynnik rozszerzalności cieplnej 0,55×10⁻⁶/°C, wytrzymuje szybkie cykle temperaturowe (1000°C/min)- Chemiczna obojętność
: Odporność na erozję plazmową, odpowiednia do wytrawiania na sucho i środowisk CMP- Wzmocnienie mechaniczne
: Opcjonalne wzmocnienie chemiczne zwiększa wytrzymałość na zginanie o 300% do 500MPaGłówne zastosowania
| Produkcja półprzewodników | Wielkoformatowe podłoża fotomasek, optyka litografii EUV, interposery 3D IC |
| Lasery dużej mocy | Lustra rezonatorów laserowych, końcówki laserów światłowodowych o mocy kW, podłoża siatek kompresji impulsów laserów ultrakrótkich |
| Technologia kwantowa | Płytki nośne kubitów, porty widokowe próżniowe układów atomowych |
| Lotnictwo | Okna ładunków optycznych satelitów, osłony ochronne czujników odporne na promieniowanie |
| Biomedycyna | Matryce chipów mikroprzepływowych, podłoża chipów do sekwencjonowania DNA, prowadnice światła do endoskopów |
| Niestandardowe rozwiązania pryzmatów kwarcowych | ZMSH świadczy usługi dostosowywania pryzmatów kwarcowych dla długości fal od UV do IR, w tym pryzmaty prostokątne, pentapryzmaty i pryzmaty dzielące wiązkę, charakteryzujące się: |
(λ/10@632.8nm)
· Powłoki specjalne (powłoki odporne na uszkodzenia laserowe, powłoki polaryzacyjne dzielące wiązkę)
· Zintegrowane przetwarzanie (struktury hybrydowe pryzmat-płytka, konstrukcje chłodzenia mikrokanalikowego)
Idealne do najnowocześniejszych zastosowań w kształtowaniu wiązki laserowej, analizie spektralnej i eksperymentach z fizyki wysokich energii.FAQ
1. P: Jakie są zalety 3-calowych płytek kwarcowych w porównaniu do mniejszych rozmiarów?O: 3-calowe (76,2 mm) płytki kwarcowe zapewniają o 44% większą powierzchnię użytkową niż płytki 2-calowe, zmniejszając straty na krawędziach i zwiększając przepustowość w produkcji MEMS i procesach powlekania optycznego.
O: Zawsze używaj czystych nośników płytek klasy cleanroom z podporami kontaktowymi na krawędziach i przechowuj w środowiskach klasy 100 z
<40% RH, aby zapobiec zanieczyszczeniu powierzchni i wchłanianiu wilgoci.
Tagi: #3-calowe podłoże kwarcowe, #Dostosowane, #Płyty z topionego kwarcu, #Kryształ SiO₂, #Płytki kwarcowe, #Klasa JGS1/JGS2, #Wysoka czystość, #Komponenty optyczne z topionego kwarcu, #Płyta szklana kwarcowa, #Otwory przelotowe o niestandardowych kształtach, #3-calowe podłoże kwarcowe, #Średnica 76,2 mm
wideo
