Sapphire Lift Pins Sapphire Rods Precyzyjna produkcja Aplikacje przemysłowe Obroń płytkami

Sapphire Lift Pins Sapphire Rods Precyzyjna produkcja Aplikacje przemysłowe Obroń płytkami

ZMSH specjalizuje się w produkcji szpilów podnoszących szafir, ze szczególnym uwzględnieniem badań i rozwoju, produkcji i sprzedaży materiałów z kryształów szafirów.Sapphire lift pins są znane ze swojej wyjątkowej wytrzymałości, wysokiej twardości, odporności na korozję i doskonałych właściwości optycznych, co czyni je idealnymi do produkcji sprzętu wysokiej klasy i zastosowań do precyzyjnego obróbki.ZMSH oferuje usługi przetwarzania na zamówienie, zdolna do projektowania i produkcji szafirowych dźwigni w różnych specyfikacjach w celu spełnienia różnych wymagań przemysłowych.

Specyfikacja techniczna

Podstawowe funkcjez żelaza lub stali

Sapphire lift pins są kluczowymi komponentami w sprzęcie do produkcji półprzewodników i diod LED, wykorzystywanymi głównie do przenoszenia i pozycjonowania płytek.

1Wsparcie płytki i ruch pionowy

W procesach osadzenia cienkich folii (np. MOCVD), etycji lub litografii ramiona robotyczne uruchamiają szafirowe szpilki podnoszące, aby podnieść się z podłogi komory, precyzyjnie podtrzymując płytki (np.2/4/6-calowe podłoże) przy zachowaniu poziomu pozycji w celu ułatwienia operacji załadunku i rozładunku.

2. Stabilna wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze

Sapphire (single-crystal Al2O3) posiada bardzo wysoki punkt topnienia 2050°C, co umożliwia długotrwałe działanie powyżej 1000°C (np.Zmiany te mogą mieć charakterystyczny wpływ na wzrost GaN (wzrost epitaksjalny GaN) bez ryzyka deformacji termicznej lub zanieczyszczenia płytki typowego dla metalowych szpilek..

3. Chemiczna obojętność dla integralności procesu

Ze względu na wyjątkową odporność na kwasy, zasadowości i środowiska plazmowe, szafir zapobiega uwalnianiu zanieczyszczeń podczas procesów etasowania lub CVD,zapewnienie czystości produkcji (szczególnie istotne dla półprzewodników o szerokim zakresie pasmowym, takich jak SiC/GaN).

Główne zalety
 

1Ultra niskie zanieczyszczenie: w porównaniu z alternatywami metalowymi (np. molibdenem) lub ceramicznymi (np. AlN), szafir generuje minimalne zrzuty cząstek stałych, spełniając normy klasy 10 w czystych pomieszczeniach.

2Wyjątkowa twardość (Mohs 9): odporność powierzchniowa na zadrapania wydłuża żywotność powyżej 100 000 cykli 5-8 razy dłużej niż szpilki kwarcowe.

3Zastosowany współczynnik rozszerzenia termicznego: ścisłe wyrównanie z płytkami SiC/GaN (~ 7,5×10−6/°C) minimalizuje wypaczenie lub pękanie wywołane naprężeniem termicznym.

Typowe zastosowaniaz żelaza lub stali

1. Produkcja płytek epiksyalnych LED: wspiera substraty safirów podczas wzrostu epiksyalnego GaN w reaktorach MOCVD.

2Wytwarzanie półprzewodników mocy: umożliwia wysokotemperaturowe procesy implantacji jonów lub grzania płytek SiC.

3Zaawansowane opakowanie: zapewnia precyzyjne pozycjonowanie na poziomie mikronów dla ultracienkiej płytki (gęstość < 100 μm) w opakowaniu na poziomie płytki (WLP).

Produkty pokrewne

ZMSH specjalizuje się w wysokiej jakości prętach szafirowych, zaprojektowanych z myślą o wyższej wytrzymałości, stabilności termicznej i odporności na korozję.Oferujemy precyzyjne obróbki do spełnienia dokładnych specyfikacji.