Co to jest pierścień koncentrujący się na kwarcu?

             
Kwartzowy pierścień koncentrujący jest krytycznym składnikiem zużywalnym w półprzewodnikowych procesach etchingowych plazmowych.Jest zazwyczaj wykonany z wysokiej czystości złożonego kwarcu i odgrywa niezbędną rolę w produkcji chipów.Jego podstawową funkcją jest ograniczanie i kierowanie plazmą, aby zapewnić wysoce jednolite wydajność etchingową na powierzchni płytki.

 

Podstawowe funkcje:
Dlaczego jest niezbędny w procesach etasowania?

W trakcie etchingu plazmowego, pierścienie fokusowe kwartowe przede wszystkim wykonują następujące kluczowe zadania:

• Skoncentrowanie plazmy dla jednolitego etchinguPoprzez specjalnie zaprojektowaną konstrukcję, utrzymuje stabilność i jednolitość plazmy nawet na krawędzi płytki.eliminuje "efekt krawędzi" i zapewnia bardzo spójne etch rates i critical dimensions (CD) across the entire wafer surface.
   
• Ochrona wysokiej wartości sprzętu i wydłużenie życia użytkowania komponentówPierścień ostrości działa jako zużywalna tarcza ochronna, która niesie bezpośrednie bombardment plazmy, osłaniając podstawowe precyzyjne komponenty takie jak elektrostatyczny chuck (ESC) od uszkodzenia.
   
• Preventing contamination and safeguarding wafer yield (Przeciwdziałanie zanieczyszczeniu i zabezpieczanie wydajności płytki)Kwarc sam nie zawiera szkodliwych zanieczyszczeń, takich jak metale, i uwalnia tlen powoli pod ekspozycją na plazmę.Ten tlen reaguje z polimerami generowanymi podczas etchingu, tworząc łatwo pompowane gazy, takie jak CO i CO2., skutecznie zapobiegając zanieczyszczeniu na tylnej stronie waferów.

       
Jingge Semiconductor Custom processing of high-purity quartz devices (5N, 6N purity), including synthetic quartz, gas-fused quartz, electrically fused quartz, quartz components, quartz etch rings,Zestawy z tworzyw sztucznych, płytki kwarcowe, płyty optyczne kwarcowe itp.

Analiza korzyści materialnych

      Wiele opcji materiału istnieje dla pierścieni ostrości, ale kwarc wyróżnia się wyjątkową kombinacją właściwości:

• Ultra wysoka czystość: Semiconductor-grade quartz typically reaches a purity of 99.998% or above, minimizing metal impurity contamination to wafers.
• Wyższa odporność na korozję chemiczną: Kwarc wytrzymuje erozję przez wysoce korozyjne gazy etchingowe (takie jak CF4, SF6 i Cl2) i atak plazmowy.
• Doskonała stabilność termicznaKwarc może wytrzymać temperatury powyżej 1000°C i ma niezwykle niski współczynnik rozszerzenia termicznego, zapewniając precyzyjną stabilność wymiarową w procesach wysokiej temperatury.
• Przychylne właściwości dielektryczne: Jego stała dielektryczna (około 3,8) zapewnia pożądaną wydajność skupiania plazmy.

Produkcja i rynek:
Precyzyjne obróbki i globalne dostaw

• Obróbka precyzyjna: Produkcja pierścieni fokusowych kwarcowych nakłada wyjątkowo wysokie wymagania dokładności, wymagając zaawansowanych 5-osiowych technologii obróbki CNC i polerowania.Key tolerancje wymiarowe can be controlled within ±0.02 mm lub nawet ±0.001 mm, z powierzchnią o grubości (Ra) niższej niż 0.002 μm.
• Główne producenci: Kluczowi gracze na globalnym rynku to międzynarodowi liderzy tacy jak Entegris, CoorsTek, Heraeus Quartz and Tosoh Quartz, a także chińskie przedsiębiorstwa takie jak Dunyuan Juxin,Zhenbao Technology i Jingge SemiconductorProdukty są ogólnie kompatybilne z głównymi platformami etchingowymi z materiałów stosowanych (AMAT), takimi jak MXP+ i Centura series.