>
>
2023-08-16
01
Hebei Tongguang Semiconductor Co., Ltd
Obecnie powszechnie stosowana technologia syntezy proszku węglika krzemu o wysokiej czystości przyjmuje głównie wysokotemperaturową syntezę w stanie stałym proszku krzemu o wysokiej czystości i proszku węglowego o wysokiej czystości, a mianowicie samorozwijającą się syntezę wysokotemperaturową.Aby rozwiązać problem wysokiego stężenia zanieczyszczeń azotem w tradycyjnej samonapędzającej się syntezie proszku SiC, Hebei Tongguang Semiconductor Co., Ltd. wynalazł metodę syntezy proszku węglika krzemu o niskim stężeniu zanieczyszczeń azotem, którą można wykorzystać do wzrostu wysokiej czystości półizolujące monokryształy SiC.Metoda ta wykorzystuje substancje usuwające azot, które w wysokich temperaturach wchodzą w reakcje chemiczne z pierwiastkami azotu.Utworzone azotki istnieją w stabilnej postaci w zakresie temperatur syntezy węglika krzemu, skutecznie zapobiegając przedostawaniu się zanieczyszczeń azotowych do sieci węglika krzemu.Przełamuje obecną tradycyjną metodę syntezy surowców z węglika krzemu i osiąga syntezę surowców z węglika krzemu o niskiej zawartości azotu, o zawartości azotu poniżej 2 × 1016 sztuk/cm3, co jest szczególnie odpowiednie do wzrostu półproduktów o wysokiej czystości izolujące monokryształy SiC.
Obecnie najskuteczniejszą metodą hodowli kryształów SiC jest metoda fizycznego transportu pary (PVT), a kryształy powstałe w systemach sublimacyjnych mają niższy poziom defektów, co czyni je główną komercyjną technologią masowej produkcji.Używając metody PVT do hodowli kryształów SiC, sprzęt do wzrostu, komponenty grafitowe i materiały izolacyjne nie mogą uniknąć zanieczyszczenia azotem.Materiały te będą adsorbować dużą ilość zanieczyszczeń azotowych, co skutkuje wysoką zawartością zanieczyszczeń azotowych w hodowanych kryształach SiC.
Obecnie czystość surowców proszkowych SiC o wysokiej czystości produkowanych komercyjnie może na ogół osiągnąć tylko 99,999%, przy zawartości azotu przeważnie 5% × Poziom ponad 1016 jednostek/cm3 poważnie wpływa na zawartość azotu w jego kolejnym produkcie - wysoka - czystość półizolujących monokryształów węglika krzemu.Dlatego zmniejszenie zawartości zanieczyszczeń azotowych w surowcach proszkowych ma ogromne znaczenie dla przygotowania półizolacyjnych kryształów węglika krzemu o wysokiej czystości.Poniżej, w oparciu o informacje patentowe kilku znanych przedsiębiorstw ujawnione przez Tianyancha, przedstawiono odpowiednie technologie wytwarzania proszku węglika krzemu o wysokiej czystości.
Ta metoda obejmuje następujące kroki:
(1) Dokładnie wymieszaj surowiec krzemowy i surowiec węglowy;
(2) Dodaj substancje usuwające azot do mieszanki surowców krzemowych i surowców węglowych, a następnie umieść tygiel zawierający substancje usuwające azot i surowce z mieszanki węglowo-krzemowej w komorze reakcyjnej;Materiałem tygla jest grafit o wysokiej czystości, o czystości ponad 99,9995%;
(3) Odkurz komorę reakcyjną, aby zmniejszyć zawartość tlenu i azotu w komorze reakcyjnej;
(4) Ogrzać komorę reakcyjną, podnieść temperaturę i spowodować reakcję substancji usuwającej azot z pierwiastkiem azotu, tworząc stałą lub gazową postać azotku, który nie ulegnie rozkładowi poniżej 2400 ℃;
(5) Wstrzykiwać gaz obojętny do komory reakcyjnej, utrzymywać ciśnienie w komorze reakcyjnej, stopniowo zwiększać temperaturę w komorze reakcyjnej, powodować reakcję surowca węglowego i surowca krzemowego, stopniowo schładzać do temperatury pokojowej i zakończyć reakcję ;
(6) Usuń azotek z otrzymanego węglika krzemu, aby uzyskać surowiec z węglika krzemu o niskiej zawartości azotu.
02
Pekin Tankblue Semiconductor Co., Ltd
Firma Tianke Heda wynalazła metodę przygotowania proszku węglika krzemu o niskiej zawartości azotu i monokryształu węglika krzemu.Metoda przygotowania obejmuje następujące etapy: mieszanie proszku krzemu o wysokiej czystości, proszku grafitu o wysokiej czystości i lotnej materii organicznej o wysokiej czystości i pozostawienie do odparowania lotnej materii organicznej o wysokiej czystości do mniej niż 10% początkowej masy w warunkach obojętna atmosfera.Zmieszany materiał jest spiekany w celu uzyskania proszku węglika krzemu o niskiej zawartości azotu.Wynalazek wykorzystuje lotne związki organiczne o wysokiej czystości do usuwania azotu z powierzchni surowców i granic ziaren podczas wytwarzania proszku węglika krzemu, zmniejszając w ten sposób zawartość azotu w produkcie.Wyniki eksperymentalne pokazują, że zawartość azotu w proszku węglika krzemu i monokryształach jest mniejsza niż 5 × 1016 sztuk/cm3.
03
Zhongdian Compound Semiconductor Co., Ltd
Firma Zhongdian Compound Semiconductor Co., Ltd. wynalazła metodę syntezy sproszkowanego węglika krzemu, która obejmuje: mieszanie sproszkowanego węgla o wysokiej czystości i sproszkowanego krzemu o wysokiej czystości oraz umieszczanie ich w tyglu grafitowym.Tygiel grafitowy jest wyłożony grafitem fluorowanym, a tygiel grafitowy jest umieszczony we wnęce pieca;Podnieść temperaturę komory pieca, a podczas procesu nagrzewania do komory pieca wprowadza się mieszaninę wodoru i gazu obojętnego, a okładzina z grafitu fluorowanego rozkłada się, uwalniając gaz fluorowany;Wydobądź gaz z komory pieca, powodując reakcję proszku węglowego o wysokiej czystości z proszkiem krzemowym o wysokiej czystości w celu uzyskania produktów pośrednich;Podnieść temperaturę komory pieca, aby spowodować reakcję produktów fazy pośredniej i wytworzenie proszku węglika krzemu.Dostarczając sposób syntezy sproszkowanego węglika krzemu, można otrzymać sproszkowany węglik krzemu o wysokiej czystości.
04
Shandong SICC Advanced Technology Co., Ltd
Firma Tianyue Advanced wynalazła urządzenie i sposób przygotowania proszku węglika krzemu, w skład którego wchodzi: korpus pieca z zamontowaną wewnątrz korpusu ścianką działową.Gdy przegroda jest zamknięta, część wewnątrz korpusu pieca jest podzielona na dwie części;Gdy przegroda jest otwarta, korpus pieca jest wewnętrznie połączony;Powierzchnia elektrody jest przynajmniej częściowo pokryta surowcami będącymi źródłem węgla;Tygiel, umieszczony wewnątrz korpusu pieca;Tygiel i elektroda ulegają względnemu przemieszczeniu, aby umożliwić elektrodie wejście lub opuszczenie tygla.Podczas procesu topienia surowców pochodzenia krzemowego stosuje się przegrodę w celu oddzielenia surowców krzemu i surowców karbonizacyjnych w piecu, unikając parowania cieczy krzemowej podczas ogrzewania i krystalizacji na surowcach karbonizacyjnych, co wpływa na wzrost proszku i poprawia jakość wzrostu proszku.Ta metoda może zapobiegać parowaniu cieczy krzemowej podczas procesu topienia surowców będących źródłem krzemu i krystalizacji na karbonizowanych surowcach poprzez kontrolowanie otwierania lub zamykania przegrody, co skutkuje niską zawartością zanieczyszczeń azotowych i innych zanieczyszczeń w otrzymanym proszku.Może być stosowany do wytwarzania kryształów węglika krzemu o wysokiej czystości.
Skontaktuj się z nami w dowolnym momencie
