Wysokiej czystości niedomieszkowany wafel krzemowy z węglika krzemu, 6-calowy, półsic 4H-Sic z węglika krzemu

Wafel SiC

Kryształ SiC jest cięty na plastry i polerowany, pojawia się wafel SiC.Specyfikację i szczegóły można znaleźć na poniższej stronie.

Wzrost kryształów SiC

Hodowla kryształów w masie jest techniką wytwarzania pojedynczych podłoży krystalicznych, stanowiących podstawę do dalszej obróbki urządzeń. Aby dokonać przełomu w technologii SiC, potrzebujemy oczywiście produkcji podłoża SiC w powtarzalnym procesie. Kryształy 6H- i 4H-SiC są hodowane w tygle grafitowe w wysokich temperaturach do 2100—2500°C.Temperaturę roboczą w tyglu zapewnia ogrzewanie indukcyjne (RF) lub rezystancyjne.Wzrost występuje na cienkich nasionach SiC.Źródłem jest ładunek proszku polikrystalicznego SiC.Opary SiC w komorze wzrostu składają się głównie z trzech rodzajów, a mianowicie Si, Si2C i SiC2, które są rozcieńczane gazem nośnym, na przykład argonem.Ewolucja źródła SiC obejmuje zarówno zmiany w czasie porowatości i średnicy granulek, jak i grafityzację granulek proszku.

Płytka SiC Epi

Struktura krystaliczna SiC

Kryształ SiC ma wiele różnych struktur krystalicznych, które są nazywane politypami. Najbardziej powszechnymi politypami SiC obecnie opracowywanymi dla elektroniki są sześcienny 3C-SiC, heksagonalny 4H-SiC i 6H-SiC oraz romboedryczny 15R-SiC.Te politypy charakteryzują się układaniem w stosy warstw dwuatomowych struktury SiC

sic defekty kryształów

Większość defektów zaobserwowanych w SiC zaobserwowano również w innych materiałach krystalicznych.Podobnie jak dyslokacje, błędy układania (SF), granice niskiego kąta (LAB) i bliźniaki.Niektóre inne pojawiają się w materiałach o strukturze Zing-Blend lub Wurtzite, takich jak IDB.Mikrorurki i inkluzje z innych faz występują głównie w SiC.

Aplikacja kryształu SiC

Wielu badaczy zna ogólne zastosowanie SiC: osadzanie azotków III-V; urządzenia optoelektroniczne; urządzenia dużej mocy; urządzenia wysokotemperaturowe; urządzenia zasilające wysokiej częstotliwości. Ale niewiele osób zna szczegółowe zastosowania, wymieniamy niektóre szczegóły

zastosowanie i przewaga materiału

• Niskie niedopasowanie sieci
• Wysoka przewodność cieplna
• Niskie zużycie energii
• Doskonałe właściwości przejściowe
• Wysokie pasmo wzbronione

Aplikacje:

• Urządzenie do epitaksji GaN
• Urządzenie optoelektroniczne
• Urządzenie wysokiej częstotliwości
• Urządzenie dużej mocy
• Urządzenie wysokotemperaturowe
• Diody emitujące światło